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公开(公告)号：CN101214747A
公开(公告)日：2008-07-09
申请号：CN200710300481.8
申请日：2007-12-28
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
Abstract: 本发明的课题为一种实现微小的磨损粉及尘埃不会落到基板的表面上、成品率不会降低的膜粘贴方法。其解决课题的方案为：配备有对应于膜前端的前端吸附板，对应于前端之外的膜的区域的吸附板，通过使吸附膜的吸附板沿铅直方向竖立，将基板在铅直方向并且向吸附板侧以规定的量倾斜地加以保持，在将压接辊压紧到膜前端位置上的状态下，使压接辊移动到铅直方向下侧，从膜的前端一直到末端，在将膜与基板的角度保持在恒定的状态下，利用压接辊将膜粘贴到基板上。
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公开(公告)号：CN1982053A
公开(公告)日：2007-06-20
申请号：CN200610169316.9
申请日：2006-12-14
Applicant: 株式会社日立工业设备技术 , 株式会社SANKI技术
Abstract: 本发明涉及将与粘合基板相称大小的片状的薄膜粘贴在基板上的薄膜粘贴方法及其装置。在基板(2)的上方、利用吸附板(33)和前端吸附板(34)使薄膜(1)在保护膜(7)的相反面侧倾斜并对其加以吸附保持，将粘接带(55)粘贴在保护膜(7)上，在薄膜(1)的前端部使粘接带(55)反向移动，剥离保护膜(7)的前端部，使前端吸附板(34)脱离薄膜的前端部，将剥离了保护膜的前端部的薄膜的前端部与基板(2)的前端部对齐，利用压接辊(46)加压，解除吸附板(33)对薄膜的吸附保持，一面以薄膜(1)的前端部侧为前面使基板(2)移动，一面利用粘接带(55)的移动剥离保护膜(7)，同时向基板(2)供给薄膜(1)，利用压接辊(46)将薄膜(1)粘贴在基板(2)上。根据本发明，无需对吸附保持力进行微妙且复杂的控制，并且薄膜也不会掉落在基板上，可简便且可靠地将薄膜粘贴在基板上。
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公开(公告)号：CN101214747B
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：CN200710300481.8
申请日：2007-12-28
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
Abstract: 本发明的课题为一种实现微小的磨损粉及尘埃不会落到基板的表面上、成品率不会降低的膜粘贴方法。其解决课题的方案为：配备有对应于膜前端的前端吸附板，对应于前端之外的膜的区域的吸附板，通过使吸附膜的吸附板沿铅直方向竖立，将基板在铅直方向并且向吸附板侧以规定的量倾斜地加以保持，在将压接辊压紧到膜前端位置上的状态下，使压接辊移动到铅直方向下侧，从膜的前端一直到末端，在将膜与基板的角度保持在恒定的状态下，利用压接辊将膜粘贴到基板上。
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公开(公告)号：CN1982053B
公开(公告)日：2010-05-19
申请号：CN200610169316.9
申请日：2006-12-14
Applicant: 株式会社日立工业设备技术 , 株式会社SANKI技术
Abstract: 本发明涉及将与粘合基板相称大小的片状的薄膜粘贴在基板上的薄膜粘贴方法及其装置。在基板(2)的上方、利用吸附板(33)和前端吸附板(34)使薄膜(1)在保护膜(7)的相反面侧倾斜并对其加以吸附保持，将粘接带(55)粘贴在保护膜(7)上，在薄膜(1)的前端部使粘接带(55)反向移动，剥离保护膜(7)的前端部，使前端吸附板(34)脱离薄膜的前端部，将剥离了保护膜的前端部的薄膜的前端部与基板(2)的前端部对齐，利用压接辊(46)加压，解除吸附板(33)对薄膜的吸附保持，一面以薄膜(1)的前端部侧为前面使基板(2)移动，一面利用粘接带(55)的移动剥离保护膜(7)，同时向基板(2)供给薄膜(1)，利用压接辊(46)将薄膜(1)粘贴在基板(2)上。根据本发明，无需对吸附保持力进行微妙且复杂的控制，并且薄膜也不会掉落在基板上，可简便且可靠地将薄膜粘贴在基板上。
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