公开(公告)号：CN101887193B

公开(公告)日：2012-05-09

申请号：CN201010126198.X

申请日：2010-02-24

Applicant: 株式会社日立工业设备技术

Inventor： 前原信二 ,  神尾正信 ,  内村满幸

IPC: G02F1/1341

Abstract: 本发明提供涂浆装置及涂浆方法。能相对于基板的大型化实现基板保持机构的小型轻量化，能实现包含支承台的装置整体轻量化。设于支承台(1)、载置基板的基板保持机构(8)在X轴方向等间隔地配置多个基板载置构件(32a～32e)，多个基板载置构件通过在U形构件(33a～33e)上载置平板状的吸附板(34a～34e)而构成，与这些基板载置构件正交且等间隔地配置的多个连接构件(35a～35d)连接在基板载置构件(32a～32e)的下面侧，由这些基板载置构件(32a～32e)和连接构件(35a～35d)构成井形架状台。吸附板(34a～34e)的上面设有吸附孔，构成基板的载置面。基板保持机构(8)由多个交叉滚子轴承(36、36a)在θ轴方向转动，由正交轴承(37)在X、Y轴方向移动。

公开(公告)号：CN101887193A

公开(公告)日：2010-11-17

申请号：CN201010126198.X

申请日：2010-02-24

Applicant: 株式会社日立工业设备技术

Inventor： 前原信二 ,  神尾正信 ,  内村满幸

IPC: G02F1/1341

Abstract: 本发明提供涂浆装置及涂浆方法。能相对于基板的大型化实现基板保持机构的小型轻量化，能实现包含支承台的装置整体轻量化。设于支承台(1)、载置基板的基板保持机构(8)在X轴方向等间隔地配置多个基板载置构件(32a～32e)，多个基板载置构件通过在U形构件(33a～33e)上载置平板状的吸附板(34a～34e)而构成，与这些基板载置构件正交且等间隔地配置的多个连接构件(35a～35d)连接在基板载置构件(32a～32e)的下面侧，由这些基板载置构件(32a～32e)和连接构件(35a～35d)构成井形架状台。吸附板(34a～34e)的上面设有吸附孔，构成基板的载置面。基板保持机构(8)由多个交叉滚子轴承(36、36a)在θ轴方向转动，由正交轴承(37)在X、Y轴方向移动。