公开(公告)号：CN101887193B

公开(公告)日：2012-05-09

申请号：CN201010126198.X

申请日：2010-02-24

Applicant: 株式会社日立工业设备技术

Inventor： 前原信二 ,  神尾正信 ,  内村满幸

IPC: G02F1/1341

Abstract: 本发明提供涂浆装置及涂浆方法。能相对于基板的大型化实现基板保持机构的小型轻量化，能实现包含支承台的装置整体轻量化。设于支承台(1)、载置基板的基板保持机构(8)在X轴方向等间隔地配置多个基板载置构件(32a～32e)，多个基板载置构件通过在U形构件(33a～33e)上载置平板状的吸附板(34a～34e)而构成，与这些基板载置构件正交且等间隔地配置的多个连接构件(35a～35d)连接在基板载置构件(32a～32e)的下面侧，由这些基板载置构件(32a～32e)和连接构件(35a～35d)构成井形架状台。吸附板(34a～34e)的上面设有吸附孔，构成基板的载置面。基板保持机构(8)由多个交叉滚子轴承(36、36a)在θ轴方向转动，由正交轴承(37)在X、Y轴方向移动。

公开(公告)号：CN102836802A

公开(公告)日：2012-12-26

申请号：CN201210192798.5

申请日：2012-06-12

Applicant: 株式会社日立工业设备技术

Inventor： 片田一哉 ,  铃木隆将 ,  神尾正信 ,  三井信治 ,  川隅幸宏

IPC: B05C5/02 ,  B05C11/10 ,  B05D1/26 ,  G02F1/1337 ,  G02F1/1341

Abstract: 本发明提供能微量且以微小的间距进行液晶材料的滴落、结果能使液晶面板的液晶材料层薄厚度化的液晶材料滴落装置及液晶材料涂敷方法。本发明的液晶材料涂敷装置，将液晶材料涂敷到基板上，具有储存液晶材料的液晶材料储存机构（22）、与液晶材料储存机构（22）连接并将液晶材料储存机构（22）的内压保持在预定范围内的内压控制机构（16a、17、20）、与液晶材料储存机构（22）连接并将液晶材料涂敷到基板上的喷墨方式的涂敷机构（11）。内压控制机构包含向液晶材料储存机构供给大气或任意气体的气体供给部（18、18a）和向液晶材料储存机构供给负压的负压供给部（17、17a、20）。

公开(公告)号：CN101887193A

公开(公告)日：2010-11-17

申请号：CN201010126198.X

申请日：2010-02-24

Applicant: 株式会社日立工业设备技术

Inventor： 前原信二 ,  神尾正信 ,  内村满幸

IPC: G02F1/1341

Abstract: 本发明提供涂浆装置及涂浆方法。能相对于基板的大型化实现基板保持机构的小型轻量化，能实现包含支承台的装置整体轻量化。设于支承台(1)、载置基板的基板保持机构(8)在X轴方向等间隔地配置多个基板载置构件(32a～32e)，多个基板载置构件通过在U形构件(33a～33e)上载置平板状的吸附板(34a～34e)而构成，与这些基板载置构件正交且等间隔地配置的多个连接构件(35a～35d)连接在基板载置构件(32a～32e)的下面侧，由这些基板载置构件(32a～32e)和连接构件(35a～35d)构成井形架状台。吸附板(34a～34e)的上面设有吸附孔，构成基板的载置面。基板保持机构(8)由多个交叉滚子轴承(36、36a)在θ轴方向转动，由正交轴承(37)在X、Y轴方向移动。