公开(公告)号：CN101605615B

公开(公告)日：2010-12-08

申请号：CN200880004042.5

申请日：2008-02-04

Applicant: 株式会社日立工业设备技术 ,  国立大学法人东京大学

Inventor： 正木广志 ,  妻木伸夫 ,  佐原辉隆 ,  北田由光 ,  松本洋一郎 ,  吉泽晋

IPC: B08B3/12 ,  H01L21/304 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1333

CPC classification number: H01L21/02052 ,  B08B3/12 ,  G02F1/1303 ,  G02F2001/133302

Abstract: 采用本发明方案之一的超声波洗涤方法时，在对存在溶存气体的洗涤液照射超声波后洗涤被洗涤物的情况下，按规定周期反复进行连续照射超声波至少0.2msec以上的工序；和停止照射超声波至少0.1msec以上的工序。由此，能防止阻碍超声波透过的粗大气泡的产生，高效产生有助于洗涤的自由基，能高效地洗涤被洗涤物。

公开(公告)号：CN101605615A

公开(公告)日：2009-12-16

申请号：CN200880004042.5

申请日：2008-02-04

Applicant: 株式会社日立工业设备技术 ,  国立大学法人东京大学

Inventor： 正木广志 ,  妻木伸夫 ,  佐原辉隆 ,  北田由光 ,  松本洋一郎 ,  吉泽晋

IPC: B08B3/12 ,  H01L21/304 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1333

CPC classification number: H01L21/02052 ,  B08B3/12 ,  G02F1/1303 ,  G02F2001/133302

Abstract: 采用本发明方案之一的超声波洗涤方法时，在对存在溶存气体的洗涤液照射超声波后洗涤被洗涤物的情况下，按规定周期反复进行连续照射超声波至少0.2msec以上的工序；和停止照射超声波至少0.1msec以上的工序。由此，能防止阻碍超声波透过的粗大气泡的产生，高效产生有助于洗涤的自由基，能高效地洗涤被洗涤物。