公开(公告)号：CN102841444A

公开(公告)日：2012-12-26

申请号：CN201210211366.4

申请日：2012-06-21

申请人： 株式会社日立显示器 ,  皮克斯特罗尼克斯公司

发明人： 海东拓生 ,  栗谷川武 ,  坂田亮 ,  刈迂修 ,  T·J·布罗斯尼汉

IPC分类号： G02B26/02 ,  G09G3/34

CPC分类号： G02B26/0841 ,  B81B7/007 ,  B81B2201/045 ,  B81C2201/0132 ,  B81C2201/016

摘要： 本发明提供一种显示装置和显示装置的制造方法，其不需要专用装置、不会使制造吞吐量降低而除去端子上的钝化膜。本发明的显示装置，包括在基板上以矩阵状配置的具有开关元件和用开关元件驱动的MEMS快门的多个像素，和在基板上配置的与外部端子连接的多个端子。MEMS快门包括：具有开口部的快门、与快门连接的第一弹簧、与第一弹簧连接的第一锚定部、第二弹簧、和与第二弹簧连接的第二锚定部，在快门、第一弹簧、第二弹簧、第一锚定部和第二锚定部的表面中的与基板的表面垂直的方向上的面具有绝缘膜，在多个端子的表面、以及快门、第一弹簧、第二弹簧、第一锚定部和第二锚定部的表面中的相对于基板的表面为平行方向且与基板相对的一侧的相反侧的面，不存在该绝缘膜。