公开(公告)号：CN1822305B

公开(公告)日：2010-12-15

申请号：CN200510103948.0

申请日：2005-09-16

Applicant: 株式会社日立科学系统

Inventor： 波田野道夫 ,  伊东祐博 ,  富田真一 ,  片根纯一

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/244 ,  G01N23/225 ,  G01N13/10

CPC classification number: H01J37/256 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/2444 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2605 ,  H01J2237/2806

Abstract: 一种扫描电子显微镜，具有将电子束照射到试样上的照射光学系统，在试样室内放置试样的试样台，在试样台的周围被配置至少一个的电场供给电极，被配置成覆盖电场供给电极那样的离子电流检测电极。

公开(公告)号：CN1822305A

公开(公告)日：2006-08-23

申请号：CN200510103948.0

申请日：2005-09-16

Applicant: 株式会社日立科学系统

Inventor： 波田野道夫 ,  伊东祐博 ,  富田真一 ,  片根纯一

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/244 ,  G01N23/225 ,  G01N13/10

CPC classification number: H01J37/256 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/2444 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2605 ,  H01J2237/2806

Abstract: 一种扫描电子显微镜，具有将电子束照射到试样上的照射光学系统，在试样室内放置试样的试样台，在试样台的周围被配置至少一个的电场供给电极，被配置成覆盖电场供给电极那样的离子电流检测电极。