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发明公开
错误原因推定装置、错误原因推定方法以及计算机可读介质审中-公开

公开(公告)号：CN118056211A

公开(公告)日：2024-05-17

申请号：CN202180102951.8

申请日：2021-10-29

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 吉田泰浩 , 石川昌义 , 笹岛二大 , 大越荣生

IPC: G06N20/00 , G05B23/02 , H01L21/02 , H01L21/66

Abstract: 错误原因推定装置(100)是推定发生的错误的错误原因的装置，具有：特征量组生成部(A2a)，其对包含从检查装置收集到的检查结果的数据进行处理，生成多个特征量；模型生成部(4)，其生成对由特征量组生成部(A2a)生成的多个特征量与错误的关系进行学习的模型(A5a)；贡献度计算部(11)，其针对在模型(A5a)的学习中使用的多个特征量中的至少一个，计算表示对模型(A5a)的输出做出贡献的程度的贡献度；以及错误原因取得部(15)，其取得对根据由贡献度计算部(11)计算出的贡献度计算出的有用度而选择出的特征量标注的错误原因。

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