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公开(公告)号：CN116848613A
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202180090871.5
申请日：2021-03-01
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/22
Abstract: 本发明的目的在于提供一种带电粒子束装置，其能够确定不调整加速电压就能够得到期望的带电状态的一次带电粒子的照射条件。本发明的带电粒子束装置确定试样的带电状态在带正电与带负电之间调换的带电粒子束的照射条件，根据确定的所述照射条件与取得试样的观察图像时的所述照射条件之间的关系，调整所述照射条件(参照图8)。
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