公开(公告)号：CN111542908B

公开(公告)日：2023-02-28

申请号：CN201880061280.3

申请日：2018-08-24

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 横须贺俊之 ,  川野源 ,  黑泽浩一 ,  数见秀之 ,  李灿

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/05 ,  H01J37/244

Abstract: 本发明提供一种带电粒子射线装置、截面形状推定程序，目的在于提供能够简便地推定图形的截面形状的带电粒子射线装置。本发明的带电粒子射线装置对能量辨别器的分别不同的每个辨别条件取得检测信号，将上述每个辨别条件的检测信号与基准图形进行比较，由此推定样本的截面形状。

公开(公告)号：CN118476004A

公开(公告)日：2024-08-09

申请号：CN202280087220.5

申请日：2022-01-27

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 杜航 ,  横须贺俊之 ,  笹气裕子 ,  渡边康子 ,  木村爱美

IPC: H01J37/22

Abstract: 本发明提供一种能够使用通过模拟结果的机器学习求出的图像预测模型来导出最佳观察条件的带电粒子束检查系统。具备：带电粒子束照射装置，其取得试样的图像；以及观察条件搜索装置，其搜索所述带电粒子束照射装置的观察条件，并控制由所述带电粒子束照射装置进行的图像取得，所述观察条件搜索装置取得包含实施了使用训练数据的学习的学习器的模块，所述训练数据包括通过将包含多个第一装置条件和多个第一试样条件的第一图像生成条件输入到模拟器而得到的多个模拟图像和所述第一图像生成条件，通过对图像生成工具设定多个第二装置条件，取得从所述图像生成工具输出的多个输出图像，将通过对所述学习器输入所述第一试样条件和所述第二装置条件而得到的图像与所述多个输出图像进行对照，基于该对照结果来生成第二试样条件。

公开(公告)号：CN111542908A

公开(公告)日：2020-08-14

申请号：CN201880061280.3

申请日：2018-08-24

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 横须贺俊之 ,  川野源 ,  黑泽浩一 ,  数见秀之 ,  李灿

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/05 ,  H01J37/244

Abstract: 本发明提供一种带电粒子射线装置、截面形状推定程序，目的在于提供能够简便地推定图形的截面形状的带电粒子射线装置。本发明的带电粒子射线装置对能量辨别器的分别不同的每个辨别条件取得检测信号，将上述每个辨别条件的检测信号与基准图形进行比较，由此推定样本的截面形状。

公开(公告)号：CN117501401A

公开(公告)日：2024-02-02

申请号：CN202180099544.6

申请日：2021-07-01

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 小辻秀幸 ,  横须贺俊之 ,  川野源

IPC: H01J37/20

Abstract: 本公开提供一种能够在不影响带电粒子束的控制的情况下进行基于等离子体的带电去除或控制的带电粒子束装置。本公开的带电粒子束装置具备：带电粒子束光学系统，其对试样照射带电粒子束；试样室，其具备载置试样的工作台；等离子体生成装置，其生成向工作台照射的等离子体；以及连结部件，其包含使试样室与等离子体生成装置绝缘的绝缘间隔件，将等离子体生成装置与试样室连结。

公开(公告)号：CN116848613A

公开(公告)日：2023-10-03

申请号：CN202180090871.5

申请日：2021-03-01

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 寺尾奈浦 ,  横须贺俊之 ,  小辻秀幸 ,  中野智仁 ,  川野源

IPC: H01J37/22

Abstract: 本发明的目的在于提供一种带电粒子束装置，其能够确定不调整加速电压就能够得到期望的带电状态的一次带电粒子的照射条件。本发明的带电粒子束装置确定试样的带电状态在带正电与带负电之间调换的带电粒子束的照射条件，根据确定的所述照射条件与取得试样的观察图像时的所述照射条件之间的关系，调整所述照射条件(参照图8)。