公开(公告)号：CN104254900A

公开(公告)日：2014-12-31

申请号：CN201380022012.8

申请日：2013-04-04

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 深谷直彦 ,  北川健二 ,  八木将计 ,  平塚幸惠 ,  小竹航

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/147 ,  H01J37/24 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J2237/1504 ,  H01J2237/216 ,  H01J2237/2485 ,  H01J2237/2611

Abstract: 本发明提供一种能够支援具有三维观察功能的带电粒子束装置的调整作业并降低调整值输入所需要的人力资源工时的带电粒子束调整支援装置。调整值获取部根据基于从带电粒子束调整者终端输入的信息而生成的二维调整值信息、和二维一三维调整值对应信息，来生成最佳的三维调整值信息，并发送给带电粒子束装置，进行设定。因此，带电粒子束调整者能降低三维观察所需要的调整作业，能容易地进行三维图像的观察作业。