公开(公告)号：CN104254900A

公开(公告)日：2014-12-31

申请号：CN201380022012.8

申请日：2013-04-04

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 深谷直彦 ,  北川健二 ,  八木将计 ,  平塚幸惠 ,  小竹航

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/147 ,  H01J37/24 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J2237/1504 ,  H01J2237/216 ,  H01J2237/2485 ,  H01J2237/2611

Abstract: 本发明提供一种能够支援具有三维观察功能的带电粒子束装置的调整作业并降低调整值输入所需要的人力资源工时的带电粒子束调整支援装置。调整值获取部根据基于从带电粒子束调整者终端输入的信息而生成的二维调整值信息、和二维一三维调整值对应信息，来生成最佳的三维调整值信息，并发送给带电粒子束装置，进行设定。因此，带电粒子束调整者能降低三维观察所需要的调整作业，能容易地进行三维图像的观察作业。

公开(公告)号：CN104040676B

公开(公告)日：2016-03-16

申请号：CN201280065865.5

申请日：2012-12-20

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 小竹航 ,  川俣茂 ,  伊东祐博

IPC: H01J37/147 ,  H01J37/21 ,  H01J37/22 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/24 ,  H01J37/1478 ,  H01J37/21 ,  H01J37/261 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2611

Abstract: 本发明提供一种带电粒子线装置以及倾斜观察图像显示方法。本发明的带电粒子线装置(100)的控制装置(50)，在每次使一次电子线(4)对样品(15)的表面进行1行份的扫描线的扫描时，经由倾斜线圈(11、12)使一次带子线(4)的照射轴左倾斜、无倾斜、或者右倾斜。并且，在变更了该照射轴时，经由焦点调整线圈(14)按照照射轴的倾斜状态来调整一次电子线(4)的焦点位置，获取1行份的扫描线的样品(15)的表面的左倾斜观察图像、无倾斜观察图像、或者右倾斜观察图像，将到此时为止获取到的与扫描线相关的左倾斜观察图像、无倾斜观察图像、和右倾斜观察图像同时显示在相同的显示装置(31)中。由此，能够大致同时获取并大致同时显示对焦了的无倾斜观察图像和对焦了的倾斜观察图像。

公开(公告)号：CN104040676A

公开(公告)日：2014-09-10

申请号：CN201280065865.5

申请日：2012-12-20

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 小竹航 ,  川俣茂 ,  伊东祐博

IPC: H01J37/147 ,  H01J37/21 ,  H01J37/22 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/24 ,  H01J37/1478 ,  H01J37/21 ,  H01J37/261 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2611

Abstract: 本发明提供一种带电粒子线装置以及倾斜观察图像显示方法。本发明的带电粒子线装置(100)的控制装置(50)，在每次使一次电子线(4)对样品(15)的表面进行1行份的扫描线的扫描时，经由倾斜线圈(11、12)使一次带子线(4)的照射轴左倾斜、无倾斜、或者右倾斜。并且，在变更了该照射轴时，经由焦点调整线圈(14)按照照射轴的倾斜状态来调整一次电子线(4)的焦点位置，获取1行份的扫描线的样品(15)的表面的左倾斜观察图像、无倾斜观察图像、或者右倾斜观察图像，将到此时为止获取到的与扫描线相关的左倾斜观察图像、无倾斜观察图像、和右倾斜观察图像同时显示在相同的显示装置(31)中。由此，能够大致同时获取并大致同时显示对焦了的无倾斜观察图像和对焦了的倾斜观察图像。

公开(公告)号：CN103348437B

公开(公告)日：2014-10-29

申请号：CN201180065868.4

申请日：2011-12-16

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 富田真一 ,  小竹航 ,  伊东佑博

IPC: H01J37/147 ,  H01J37/28 ,  H01J37/04 ,  H01J37/153

CPC classification number: H01J37/1478 ,  H01J37/153 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/1536 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/2611

Abstract: 本发明提供一种带电粒子束装置，其在连续地修正焦点的同时观察对试样照射倾斜束而取得的倾斜像或左右视差角像时，能够抑制产生的视野偏移。通过在使一次带电粒子束聚焦在试样（10）表面的物镜（7）和使一次带电粒子束倾斜的倾斜角控制用偏转器（53）之间设置的视野修正用对准器（54），以根据倾斜角控制用偏转器（53）的倾斜角、透镜条件、物镜（7）和试样（10）的距离而求出的修正量，与物镜（7）的焦点修正联动地抑制一次带电粒子束的倾斜时产生的视野偏移。

公开(公告)号：CN103348437A

公开(公告)日：2013-10-09

申请号：CN201180065868.4

申请日：2011-12-16

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 富田真一 ,  小竹航 ,  伊东佑博

IPC: H01J37/147 ,  H01J37/28 ,  H01J37/04 ,  H01J37/153

CPC classification number: H01J37/1478 ,  H01J37/153 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/1536 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/2611

Abstract: 本发明提供一种带电粒子束装置，其在连续地修正焦点的同时观察对试样照射倾斜束而取得的倾斜像或左右视差角像时，能够抑制产生的视野偏移。通过在使一次带电粒子束聚焦在试样（10）表面的物镜（7）和使一次带电粒子束倾斜的倾斜角控制用偏转器（53）之间设置的视野修正用对准器（54），以根据倾斜角控制用偏转器（53）的倾斜角、透镜条件、物镜（7）和试样（10）的距离而求出的修正量，与物镜（7）的焦点修正联动地抑制一次带电粒子束的倾斜时产生的视野偏移。