公开(公告)号：CN114245933A

公开(公告)日：2022-03-25

申请号：CN201980099384.8

申请日：2019-09-06

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 早川功一 ,  高野正干 ,  植田和弘 ,  石川昌义 ,  吉田泰浩

IPC: H01L21/66

Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够推定制程错误的原因并且提示该制程错误的修正候补的系统。本发明的制程信息提示系统或制程错误推定系统使学习器学习制程与起因于该制程的错误之间的对应关系，从所述学习器取得针对在使用了新的所述制程时是否发生错误的推定结果(参照图1)。

公开(公告)号：CN115176327A

公开(公告)日：2022-10-11

申请号：CN202080097490.5

申请日：2020-03-30

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 笹岛二大 ,  高野正干 ,  植田和弘 ,  石川昌义 ,  吉田泰浩

IPC: H01J37/24 ,  H01J37/28

Abstract: 本公开提出一种诊断系统，即使是考虑了多个要因或多个复合要因的错误，也能合适地进行原因确定。本公开所涉及的诊断系统具备：学习器，其将规定检查装置的动作的配方、记述了所述装置的状态的日志数据或记述了所述样品的特性的样品数据当中的至少任一者与所述装置的错误的种类建立对应来进行学习，使用所述学习器来推定所述错误的原因(参考图4)。