公开(公告)号：CN116057546A

公开(公告)日：2023-05-02

申请号：CN202080103853.1

申请日：2020-09-17

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 吉田泰浩 ,  石川昌义 ,  笹嶋二大 ,  高野正干 ,  早川功一

IPC: G06N20/00

Abstract: 本发明使用一种错误原因推断装置，包括：数据预处理部，其使用处理对象数据生成具有适于输入到机器学习模型的格式的训练数据；和模型树生成部，其以训练数据作为输入而生成用于检测错误的学习模型即错误检测模型，并生成利用以错误检测模型为节点的树结构来表达错误检测模型之间的关系的模型树。由此，即使不对错误原因事先添加标签，也能够生成按发生的多种类的错误来检测错误的学习模型。

公开(公告)号：CN115280334A

公开(公告)日：2022-11-01

申请号：CN202080098437.7

申请日：2020-03-31

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 吉田泰浩 ,  石川昌义 ,  早川功一 ,  高野正干 ,  笹岛二大

IPC: G06N20/00

Abstract: 错误原因的推定装置具备：特征量生成部，其使用从外部发送的数据来生成适合于机器学习模型的特征量；模型数据库，其具有至少一个以上的错误预测模型，该错误预测模型将特征量作为输入数据而用于有无错误产生的判定；模型评价部，其将错误预测模型的预测结果与实际测量出的真正的错误结果进行比较来评价错误预测模型的性能；模型选择部，其从模型数据库选择由模型评价部计算出的评价值为预先设定的预定值以上的错误预测模型；以及错误预测模型生成部，其在由模型选择部选择的错误预测模型没有符合的情况下，针对测量出的错误生成新的错误预测模型。由此，即使没有错误原因的事先注释，也能够针对产生的多种错误推定其原因。

公开(公告)号：CN114245933A

公开(公告)日：2022-03-25

申请号：CN201980099384.8

申请日：2019-09-06

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 早川功一 ,  高野正干 ,  植田和弘 ,  石川昌义 ,  吉田泰浩

IPC: H01L21/66

Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够推定制程错误的原因并且提示该制程错误的修正候补的系统。本发明的制程信息提示系统或制程错误推定系统使学习器学习制程与起因于该制程的错误之间的对应关系，从所述学习器取得针对在使用了新的所述制程时是否发生错误的推定结果(参照图1)。