公开(公告)号：CN108292577B

公开(公告)日：2019-12-17

申请号：CN201580084616.4

申请日：2015-11-27

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 神尾诚人 ,  渡边真佐志 ,  平野克典 ,  星野吉延 ,  川俣茂 ,  樱井祐市

IPC: H01J37/22

Abstract: 本发明的带电粒子射线装置包括：带电粒子射线源；将来自所述带电粒子射线源的带电粒子射线照射至试料的带电粒子射线光学系统；对通过照射所述带电粒子射线而从所述试料产生的二次信号进行检测的检测器；以及对从所述二次信号获得的图像数据执行累积处理并输出累积图像的图像处理部，所述图像处理部执行归一化累积运算，输出在累积过程中所述累积图像的亮度值始终为“1”的状态的累积图像。

公开(公告)号：CN108292577A

公开(公告)日：2018-07-17

申请号：CN201580084616.4

申请日：2015-11-27

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 神尾诚人 ,  渡边真佐志 ,  平野克典 ,  星野吉延 ,  川俣茂 ,  樱井祐市

IPC: H01J37/22

Abstract: 本发明的带电粒子射线装置包括：带电粒子射线源；将来自所述带电粒子射线源的带电粒子射线照射至试料的带电粒子射线光学系统；对通过照射所述带电粒子射线而从所述试料产生的二次信号进行检测的检测器；以及对从所述二次信号获得的图像数据执行累积处理并输出累积图像的图像处理部，所述图像处理部执行归一化累积运算，输出在累积过程中所述累积图像的亮度值始终为“1”的状态的累积图像。