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公开(公告)号：CN110770875A
公开(公告)日：2020-02-07
申请号：CN201780089056.0
申请日：2017-04-21
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明的电荷粒子线装置对操作者的观察条件设定进行辅助，使得能够不局限于基于操作者的经验的试错地，通过电荷粒子线装置获取希望的画质(对比度等)的图像。为此，是一种电荷粒子线装置，其具备：试料(115)台，其载置试料；电荷粒子光学系统，其向试料照射电荷粒子束；检测器(121、122)，其检测由于电荷粒子束与试料的相互作用而产生的电子；控制部(103)，其根据由操作者设定的观察条件控制试料台和电荷粒子光学系统，根据来自检测器的检测信号形成图像；显示器(104)，其显示用于设定观察条件的观察辅助画面，其中，控制部将与在观察条件下通过电荷粒子光学系统照射到试料的每个像素的照射电子量有关的信息(510)显示到观察辅助画面(401)。
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公开(公告)号：CN102484025A
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN201080035234.X
申请日：2010-07-20
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/147 , H01J37/153 , H01J37/22
CPC classification number: H01J37/28 , A61B6/022 , G02B27/2207 , G02B27/2214 , H01J37/1478 , H01J37/153 , H01J2237/2611
Abstract: 本发明提供一种带电粒子束装置，其具有带电粒子源、对从带电粒子源放出的一次带电粒子束(3)进行聚焦的物镜(12)、在试样上扫描一次带电粒子束(3)的扫描偏转器(11)、检测通过一次带电粒子束的扫描而从试样发生的信号粒子的检测器，使用检测器的信号粒子取得试样图像，所述带电粒子束装置的特征在于，具备：使一次带电粒子束向试样的照射角偏转的偏转器(10)；使电流流过偏转器的独立的第一以及第二电源(24、36)；以及以一次带电粒子束的扫描的一行单位或一帧单位切换从两个电源施加的电压的开关(34)。
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公开(公告)号：CN111433594B
公开(公告)日：2023-07-11
申请号：CN201780094638.8
申请日：2017-10-16
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01N23/2251 , G02B21/36 , H04N7/18
Abstract: 本发明的目的在于：在获取多个样本切片的图像的拍摄装置中，容易地获取各切片之间的对应的位置的图像。本发明的拍摄装置根据第一样本切片的特征点和第一观察区域之间的对应关系，计算第二样本切片的第二观察区域的坐标，并生成该计算出的坐标处的观察图像(参照图7B)。
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公开(公告)号：CN110770875B
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN201780089056.0
申请日：2017-04-21
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明的电荷粒子线装置对操作者的观察条件设定进行辅助，使得能够不局限于基于操作者的经验的试错地，通过电荷粒子线装置获取希望的画质(对比度等)的图像。为此，是一种电荷粒子线装置，其具备：试料(115)台，其载置试料；电荷粒子光学系统，其向试料照射电荷粒子束；检测器(121、122)，其检测由于电荷粒子束与试料的相互作用而产生的电子；控制部(103)，其根据由操作者设定的观察条件控制试料台和电荷粒子光学系统，根据来自检测器的检测信号形成图像；显示器(104)，其显示用于设定观察条件的观察辅助画面，其中，控制部将与在观察条件下通过电荷粒子光学系统照射到试料的每个像素的照射电子量有关的信息(510)显示到观察辅助画面(401)。
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公开(公告)号：CN102292790A
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN201080005312.1
申请日：2010-01-19
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/22 , H01J37/244 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/26 , H01J37/244
Abstract: 本发明的电子显微镜具有：具有反射电子检测元件(9)的反射电子检测器；具有偏置电极(11)和试样台(12)的低真空二次电子检测器；以及切换所述各检测器的检测信号的信号切换器(14)。在观察条件存储器(20)中针对所述各检测器存储有最佳的观察条件。CPU(19)根据所述各检测器的切换来调出存储在观察条件存储器(20)中的观察条件，并设定电子显微镜的状态以形成所调出的观察条件。图像处理装置(22)将对应于所述各检测器的切换而得到的多个检测信号分别转换为二维图像信号，并对各个二维图像信号的画质进行评价。在画质优先模式下，CPU(19)根据图像处理装置(22)的评价结果来切换到评价值高的检测器进行图像显示。由此，在具有多个检测器的电子显微镜中，能够提供容易选择检测器以及容易设定针对检测器的最佳的观察条件的电子显微镜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108292578B
公开(公告)日：2020-12-25
申请号：CN201580084713.3
申请日：2015-11-25
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明提供一种带电粒子射线装置，即使在观察图像的倍率与显示观察位置的图像的倍率有较大差异的情况下，也能在该带电粒子射线装置中示出观察位置。带电粒子射线装置包括：显示操作画面的显示部，该操作画面具有显示观察图像的观察图像显示部(201)、以及显示所述观察图像的观察位置的观察位置显示部(203)；以及对所述操作画面的显示处理进行控制的控制部，所述控制部基于获取到所述观察图像时的倍率及坐标来将所述倍率不同的多个观察位置显示用图像(204、301)重叠显示于所述观察位置显示部。
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公开(公告)号：CN111433594A
公开(公告)日：2020-07-17
申请号：CN201780094638.8
申请日：2017-10-16
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01N23/2251 , G02B21/36 , H04N7/18
Abstract: 本发明的目的在于：在获取多个样本切片的图像的拍摄装置中，容易地获取各切片之间的对应的位置的图像。本发明的拍摄装置根据第一样本切片的特征点和第一观察区域之间的对应关系，计算第二样本切片的第二观察区域的坐标，并生成该计算出的坐标处的观察图像(参照图7B)。
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公开(公告)号：CN108292577B
公开(公告)日：2019-12-17
申请号：CN201580084616.4
申请日：2015-11-27
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/22
Abstract: 本发明的带电粒子射线装置包括：带电粒子射线源；将来自所述带电粒子射线源的带电粒子射线照射至试料的带电粒子射线光学系统；对通过照射所述带电粒子射线而从所述试料产生的二次信号进行检测的检测器；以及对从所述二次信号获得的图像数据执行累积处理并输出累积图像的图像处理部，所述图像处理部执行归一化累积运算，输出在累积过程中所述累积图像的亮度值始终为“1”的状态的累积图像。
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公开(公告)号：CN108292578A
公开(公告)日：2018-07-17
申请号：CN201580084713.3
申请日：2015-11-25
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明提供一种带电粒子射线装置，即使在观察图像的倍率与显示观察位置的图像的倍率有较大差异的情况下，也能在该带电粒子射线装置中示出观察位置。带电粒子射线装置包括：显示操作画面的显示部，该操作画面具有显示观察图像的观察图像显示部(201)、以及显示所述观察图像的观察位置的观察位置显示部(203)；以及对所述操作画面的显示处理进行控制的控制部，所述控制部基于获取到所述观察图像时的倍率及坐标来将所述倍率不同的多个观察位置显示用图像(204、301)重叠显示于所述观察位置显示部。
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公开(公告)号：CN102484025B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201080035234.X
申请日：2010-07-20
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/147 , H01J37/153 , H01J37/22
CPC classification number: H01J37/28 , A61B6/022 , G02B27/2207 , G02B27/2214 , H01J37/1478 , H01J37/153 , H01J2237/2611
Abstract: 本发明提供一种带电粒子束装置，其具有带电粒子源、对从带电粒子源放出的一次带电粒子束(3)进行聚焦的物镜(12)、在试样上扫描一次带电粒子束(3)的扫描偏转器(11)、检测通过一次带电粒子束的扫描而从试样发生的信号粒子的检测器，使用检测器的信号粒子取得试样图像，所述带电粒子束装置的特征在于，具备：使一次带电粒子束向试样的照射角偏转的偏转器(10)；使电流流过偏转器的独立的第一以及第二电源(24、36)；以及以一次带电粒子束的扫描的一行单位或一帧单位切换从两个电源施加的电压的开关(34)。
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