公开(公告)号：CN104137220A

公开(公告)日：2014-11-05

申请号：CN201380011705.7

申请日：2013-03-15

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 小西弥生 ,  能田弘行 ,  稻田高洋 ,  重藤训志 ,  安藤彻 ,  饭泉纪子 ,  多持隆一郎 ,  佐藤贡

IPC: H01J37/24 ,  H01J37/22 ,  H01J37/28

CPC classification number: G09B19/24 ,  G06F3/0484 ,  G09B5/02 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/22

Abstract: 本发明为了提高初学者的带电粒子束装置的技能，特征在于，具有：显示操作画面(200)的图像显示装置，该操作画面显示电子显微镜的操作项目；存储装置，其使辅助按钮(B122)相关的信息与图像(C51)的画质对应，并且与电子显微镜的参数设定值的组合即观察条件对应地存储，其中，所述辅助按钮(B122)相关的信息显示从电子显微镜的检测器取得的图像(C51)状态相关的信息；以及操作程序，其解析从检测器取得的图像的画质，根据作为解析结果的图像的画质以及当前的观察条件，从存储装置取得辅助按钮(B122)，在操作画面(200)的预定位置显示该取得的辅助按钮(B122)。

公开(公告)号：CN104137220B

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201380011705.7

申请日：2013-03-15

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 小西弥生 ,  能田弘行 ,  稻田高洋 ,  重藤训志 ,  安藤彻 ,  饭泉纪子 ,  多持隆一郎 ,  佐藤贡

IPC: H01J37/24 ,  H01J37/22 ,  H01J37/28

CPC classification number: G09B19/24 ,  G06F3/0484 ,  G09B5/02 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/22

Abstract: 本发明为了提高初学者的带电粒子束装置的技能，特征在于，具有：显示操作画面(200)的图像显示装置，该操作画面显示电子显微镜的操作项目；存储装置，其使辅助按钮(B122)相关的信息与图像(C51)的画质对应，并且与电子显微镜的参数设定值的组合即观察条件对应地存储，其中，所述辅助按钮(B122)相关的信息显示从电子显微镜的检测器取得的图像(C51)状态相关的信息；以及操作程序，其解析从检测器取得的图像的画质，根据作为解析结果的图像的画质以及当前的观察条件，从存储装置取得辅助按钮(B122)，在操作画面(200)的预定位置显示该取得的辅助按钮(B122)。