公开(公告)号：CN108475608B

公开(公告)日：2021-07-09

申请号：CN201680077769.0

申请日：2016-02-26

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 岩谷彻 ,  高须久幸 ,  高堀荣

IPC: H01J37/30 ,  H01J37/20

Abstract: 本发明提供一种加工技术，其能够抑制在加工面产生再沉积的可能性，并且获得所需的加工内容。为了解决该问题，根据本发明的离子铣削装置具有：离子源(1)，其发出离子束；试样保持部，其保持试样；以及试样滑动移动机构(70)，其使试样保持部沿包括离子束的轴的法线方向成分的方向滑动移动。

公开(公告)号：CN102668013A

公开(公告)日：2012-09-12

申请号：CN201080052970.6

申请日：2010-11-12

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 岩谷彻 ,  高堀荣 ,  大泷智久 ,  波多野治彦

IPC: H01J37/143 ,  H01J37/04 ,  H01J37/141 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/143 ,  H01J37/04 ,  H01J37/141 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28

Abstract: 本发明提供一种能够抑制柱镜筒架的温度上升，且维持分解能等性能，并同时实现装置的小型化的扫描电子显微镜。该扫描电子显微镜利用会聚透镜使从电子源放出的电子线会聚而向试料上照射，并对来自试料的二次电子进行检测，从而观察试料，所述扫描电子显微镜的特征在于，所述会聚透镜具有电磁线圈型及永久磁铁型这两种。

公开(公告)号：CN113410112B

公开(公告)日：2025-02-18

申请号：CN202110696658.0

申请日：2016-02-26

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 岩谷彻 ,  高须久幸 ,  高堀荣

IPC: H01J37/30 ,  H01J37/20

Abstract: 本发明提供一种加工技术，其能够抑制在加工面产生再沉积的可能性，并且获得所需的加工内容。为了解决该问题，根据本发明的离子铣削装置具有：离子源(1)，其发出离子束；试样保持部，其保持试样；以及试样滑动移动机构(70)，其使试样保持部沿包括离子束的轴的法线方向成分的方向滑动移动。

公开(公告)号：CN108475608A

公开(公告)日：2018-08-31

申请号：CN201680077769.0

申请日：2016-02-26

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 岩谷彻 ,  高须久幸 ,  高堀荣

IPC: H01J37/30 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/30

Abstract: 本发明提供一种加工技术，其能够抑制在加工面产生再沉积的可能性，并且获得所需的加工内容。为了解决该问题，根据本发明的离子铣削装置具有：离子源(1)，其发出离子束；试样保持部，其保持试样；以及试样滑动移动机构(70)，其使试样保持部沿包括离子束的轴的法线方向成分的方向滑动移动。

公开(公告)号：CN113410112A

公开(公告)日：2021-09-17

申请号：CN202110696658.0

申请日：2016-02-26

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 岩谷彻 ,  高须久幸 ,  高堀荣

IPC: H01J37/30 ,  H01J37/20

Abstract: 本发明提供一种加工技术，其能够抑制在加工面产生再沉积的可能性，并且获得所需的加工内容。为了解决该问题，根据本发明的离子铣削装置具有：离子源(1)，其发出离子束；试样保持部，其保持试样；以及试样滑动移动机构(70)，其使试样保持部沿包括离子束的轴的法线方向成分的方向滑动移动。

公开(公告)号：CN102668013B

公开(公告)日：2015-05-27

申请号：CN201080052970.6

申请日：2010-11-12

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 岩谷彻 ,  高堀荣 ,  大泷智久 ,  波多野治彦

IPC: H01J37/143 ,  H01J37/04 ,  H01J37/141 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/143 ,  H01J37/04 ,  H01J37/141 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28

Abstract: 本发明提供一种能够抑制柱镜筒架的温度上升，且维持分解能等性能，并同时实现装置的小型化的扫描电子显微镜。该扫描电子显微镜利用会聚透镜使从电子源放出的电子线会聚而向试料上照射，并对来自试料的二次电子进行检测，从而观察试料，所述扫描电子显微镜的特征在于，所述会聚透镜具有电磁线圈型及永久磁铁型这两种。