公开(公告)号：CN104089966B

公开(公告)日：2018-07-27

申请号：CN201410017457.3

申请日：2014-01-15

申请人： 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

发明人： E.希尔 ,  S.比恩

IPC分类号： G01N23/20 ,  G01N23/22

CPC分类号： H01J37/26 ,  G01N23/2254 ,  H01J2237/2804 ,  H01J2237/2806 ,  H01J2237/2808 ,  H01J2237/2809

摘要： 本发明涉及种方法和种带电粒子束装置(1),用于使用与物体(24)互相作用的带电粒子束来分析物体(24)。该物体(24)包括嵌入树脂(15B)中的样品(15A)。检测阴极发光光形式的互相作用辐射以识别布置有树脂(15B)的区域和布置有样品(15A)的区域。检测互相作用粒子以识别树脂(15B)和样品(15A)内的粒子,以通过使用EDX分析进行进步分析。

公开(公告)号：CN106463322B

公开(公告)日：2018-06-26

申请号：CN201580026256.2

申请日：2015-05-22

申请人： 科磊股份有限公司

发明人： 江欣荣 ,  韩立群

IPC分类号： H01J37/05 ,  H01J49/28

CPC分类号： H01J37/26 ,  H01J37/05 ,  H01J37/06 ,  H01J37/10 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/057

摘要： 一个实施例涉及一种双威恩过滤器单色器。第一威恩过滤器使电子束聚焦于第一平面中，同时使所述电子束在第二平面中平行。狭缝开口允许所述电子束的具有在能量范围内的能量的电子通过，同时阻挡所述电子束的具有在所述能量范围之外的能量的电子。第二威恩过滤器使所述电子束聚焦以变得在所述第一平面中平行，同时使所述电子束在所述第二平面中平行。还揭示其它实施例、方面及特征。

公开(公告)号：CN107960118A

公开(公告)日：2018-04-24

申请号：CN201580081522.1

申请日：2015-07-06

申请人： 巴塞尔大学

发明人： 史蒂芬·亚历山大·阿诺德 ,  托马斯·布朗 ,  汉宁·施塔尔贝格

IPC分类号： G01N1/42 ,  H01J37/26

CPC分类号： G01N1/42 ,  H01J37/20 ,  H01J37/26

摘要： 本发明涉及用于制备电子显微镜样品的制备系统，包括：液体处理系统(0)，所述液体处理系统(0)包括分配头(1)，其中所述液体处理系统(0)构造成通过所述分配头(1)来抽吸和分配一定体积的样品；-支撑结构(2)，构造成容纳样品；温度控制台(4)，构造成当所述支撑结构(2)置于所述温度控制台(4)时，将所述支撑结构(2)保持在预定温度下；-第一适配器(3)，构造成保持所述支撑结构(2)；-传送机构(60)，构造成连接至保持所述支撑结构(2)的第一适配器(3)，并且将所述支撑结构(2)移动至包含液态冷冻剂(80)的容器(8)中，使位于所述支撑结构(2)上的样品接触所述冷冻剂(80)。而且，本发明涉及相应的方法。

公开(公告)号：CN107919259A

公开(公告)日：2018-04-17

申请号：CN201711086858.4

申请日：2017-11-07

申请人： 武汉理工大学

发明人： 刘小青 ,  谢峻林 ,  何峰 ,  方德

IPC分类号： H01J37/20 ,  H01J37/26

CPC分类号： H01J37/26 ,  H01J37/20

摘要： 本发明公开了一种原位清除透射电子显微镜物镜极靴磁性粉末的样品杆，其包括依次连接的样品杆头、杆身和手握柄；所述样品杆头包括电磁线圈，该电磁线圈通过导线与可变电阻连接，可变电阻与直流电源连接。本发明能在不影响电镜正常工作的情况下对吸附在物镜极靴上的磁性粉末进行低成本、高效率的清理。

公开(公告)号：CN107636791A

公开(公告)日：2018-01-26

申请号：CN201680030066.2

申请日：2016-08-11

申请人： 韩国标准科学研究院

发明人： 赵福来 ,  安商丁 ,  薛仁皓

IPC分类号： H01J37/20 ,  H01J37/26

CPC分类号： H01J37/16 ,  G02B21/0004 ,  G02B21/02 ,  G02B21/06 ,  G02B21/36 ,  G02B21/361 ,  H01J37/165 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/226 ,  H01J37/228 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J37/285 ,  H01J2237/166 ,  H01J2237/182 ,  H01J2237/2006 ,  H01J2237/204 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2808 ,  H01J2237/2855

摘要： 本发明涉及一种粒子及光学装置用真空样品室，所述粒子及光学装置用真空样品室在一面设置有粒子束入射的孔径(aperture)，粒子束沿着电子、离子、中性粒子等粒子光轴聚焦，在其相对面设置有光透过的可拆卸式样品支持器，通过粒子束和光可以对样品进行观测或分析，并且实现一种样品室及具备所述样品室的光学-电子融合显微镜，其在样品出入电子显微镜或聚焦离子束观察装置的样品室时，也保持样品室内部真空，从而缩短观察时间，没有将光源或光学镜筒插入于样品室内部，而是可以从外部获得光学影像。

公开(公告)号：CN103050386B

公开(公告)日：2018-01-23

申请号：CN201210394014.7

申请日：2012-10-17

申请人： 斯伊恩股份有限公司

发明人： 二宫史郎 ,  月原光国 ,  工藤哲也 ,  山田达也

IPC分类号： H01L21/265 ,  H01J37/244 ,  H01J37/317

CPC分类号： H01J37/26 ,  H01J37/3023 ,  H01J37/304 ,  H01J37/317 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/18 ,  H01J2237/30472 ,  H01J2237/31701 ,  H01J2237/31703

摘要： 本发明公开了一种离子注入装置和离子注入方法。在向晶片中注入离子的过程中，测量离子束电流，获得根据在真空束线室或真空处理室内操作的结构的位置变化而发生变化的真空流导的变化，另外，利用安装在所述真空束线室或所述真空处理室内的真空计检测一个或多个位置处的真空度的变化。利用所获得真空流导和所检测的一个或多个位置处的真空度来校正离子束电流的量，并控制注入至所述晶片中的剂量。

公开(公告)号：CN105849853B

公开(公告)日：2017-11-24

申请号：CN201480066075.8

申请日：2014-12-02

申请人： 代尔夫特理工大学

发明人： 昂德里克·威廉·赞德伯根

IPC分类号： H01J37/20

CPC分类号： H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/26 ,  H01J2237/2802

摘要： 本发明涉及用于显微镜的低样本绞手和制冷器领域，以及包括所述绞手的显微镜。本发明涉及显微镜领域，具体涉及电子显微镜和聚焦离子束显微镜(EM和FIB)。然而，它的应用原则上可以扩展到显微镜的任何领域，尤其在样本被冷却或需要冷却的情况下。

公开(公告)号：CN104584181B

公开(公告)日：2017-07-25

申请号：CN201380040935.6

申请日：2013-06-28

申请人： 株式会社日立高新技术

发明人： 大南佑介 ,  伊东佑博

IPC分类号： H01J37/244 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20

CPC分类号： H01J37/16 ,  H01J37/00 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/24455 ,  H01J2237/2605

摘要： 本发明提供一种试样观察方法，其在试样上照射一次带电粒子线，检测由上述照射得到的二次带电粒子信号，并观察上述试样，该试样观察方法的特征在于，使在保持为真空状态的带电粒子光学镜筒内产生的上述一次带电粒子线透过或通过隔膜，该隔膜以使载置上述试样的空间与上述带电粒子光学镜筒隔离的方式配置，检测通过向置于大气压或比大气压稍低的负压状态的规定的气体环境的上述试样照射上述一次带电粒子线而得到的透过带电粒子线。

公开(公告)号：CN106653536A

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201610584326.2

申请日：2016-07-22

申请人： 格罗方德半导体公司

发明人： 王允愈 ,  J·布鲁利

IPC分类号： H01J37/26 ,  H01J37/04

CPC分类号： G01N23/04 ,  G01N2223/03 ,  G01N2223/607 ,  H01J37/26 ,  H01J37/04 ,  H01J2237/0492 ,  H01J2237/1514 ,  H01J2237/2614

摘要： 本发明公开由暗场电子全像以高解析度产生不失真暗场应变图的方法，具体涉及一种用于测量半导体材料或其它晶体材料的应变的线内暗场全像方法，其使用具有用于使电子射束穿过应变及无应变样本的电子枪的穿透式电子显微镜。于磁倾斜线圈与该样本之间的聚光迷你‑透镜在穿过该对样本之前以一角度增加该射束的偏斜。第一物镜透镜形成各该样本的虚拟影像，而第二物镜透镜将各该样本的该虚拟影像聚焦在中介影像平面，以形成各该样本的中介影像。双棱镜在该样本之间产生形成于该影像平面的干涉图案，接着可观察该干涉图案以判断该应变样本的应变程度，并提供具有最小光学失真的无慧星像差的应变图。

公开(公告)号：CN102760628B

公开(公告)日：2016-12-14

申请号：CN201210125537.1

申请日：2012-04-26

申请人： FEI ,  公司

发明人： L.图马 ,  P.哈拉文卡 ,  P.西塔尔 ,  R.塞斯卡 ,  B.塞达

IPC分类号： H01J37/244 ,  G01T1/20

CPC分类号： H01J37/26 ,  H01J37/145 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/04926 ,  H01J2237/2443 ,  H01J2237/24465

摘要： 本发明涉及用于粒子光学镜筒的镜筒内检测器。本发明涉及一种镜筒内反向散射电子检测器，该检测器放置于用于SEM的组合式静电/磁物镜中。将检测器形成为带电粒子敏感表面，优选为闪烁体盘（406），其充当电极面之一（110）从而形成静电聚焦场。在闪烁体中生成的光子由光子检测器（202，408）（比如光电二极管或者多像素光子检测器）检测。物镜可以配备有用于检测被保持与轴更接近的次级电子的另一电子检测器116）。光导（204，404）可以用来赋予在光子检测器与闪烁体之间的电绝缘。