公开(公告)号：CN101356729B

公开(公告)日：2011-02-09

申请号：CN200780001211.5

申请日：2007-03-30

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 石浦丰 ,  松前岳志 ,  井上和裕 ,  高田俊明

IPC: H03H9/145 ,  H03H3/08

CPC classification number: H03H9/02992 ,  H03H3/08 ,  H03H9/02937 ,  H03H9/02984

Abstract: 在第1主面(2a)上，形成电极，该电极具有形成从基板(2)的侧面(2c)和第1主面(2a)的端缘向第1主面的内侧延伸的第1电极图案(3)、和第1电极图案(3)的端部(3a)隔着间隙(G)地相对设置的第2电极图案(4)、覆盖间隙(G)而且到达第1、第2电极图案(3、4)之上地设置的第3电极图案(5)，第3电极图案(5)由耐蚀性比构成第1、第2电极图案的金属膜优异的金属膜构成的电子部件(1)。提供难以产生来自从成为基板侧面和一个主面的端缘到基板主面的内侧的电极图案的湿气的侵入等引起的腐蚀、难以产生随后出现的特性的劣化的电子部件。

公开(公告)号：CN101356729A

公开(公告)日：2009-01-28

申请号：CN200780001211.5

申请日：2007-03-30

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 石浦丰 ,  松前岳志 ,  井上和裕 ,  高田俊明

IPC: H03H9/145 ,  H03H3/08

CPC classification number: H03H9/02992 ,  H03H3/08 ,  H03H9/02937 ,  H03H9/02984

Abstract: 在第1主面(2a)上，形成电极，该电极具有形成从基板(2)的侧面(2c)和第1主面(2a)的端缘向第1主面的内侧延伸的第1电极图案(3)、和第1电极图案(3)的端部(3a)隔着间隙(G)地相对设置的第2电极图案(4)、覆盖间隙(G)而且到达第1、第2电极图案(3、4)之上地设置的第3电极图案(5)，第3电极图案(5)由耐蚀性比构成第1、第2电极图案的金属膜优异的金属膜构成的电子部件(1)。提供难以产生来自从成为基板侧面和一个主面的端缘到基板主面的内侧的电极图案的湿气的侵入等引起的腐蚀、难以产生随后出现的特性的劣化的电子部件。

公开(公告)号：CN1246959C

公开(公告)日：2006-03-22

申请号：CN02160503.3

申请日：2002-12-27

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 中川原修 ,  佐伯昌彦 ,  井上和裕

IPC: H03H9/25 ,  H03H3/08

CPC classification number: H03H9/02929 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49126 ,  Y10T29/49128 ,  Y10T29/4913 ,  Y10T29/49135 ,  Y10T29/49155

Abstract: 提供改善电极的抗应力迁移性，从而耐电性优良的声表面波元件。例如为了在θ旋转Y切割(θ＝36°～42°)的LiTaO3压电基片(2)上形成电极(3)，形成将Ti或Cr作为主成分的基底电极层(5)后，在其上形成将Al作为主成分的Al电极层(4)。Al电极层(4)是外延生长的取向膜，而且成为具有双晶结构的多晶膜，该结构在X射线衍射极点图中观察的衍射图案具有多个对称中心。

公开(公告)号：CN1430330A

公开(公告)日：2003-07-16

申请号：CN02160503.3

申请日：2002-12-27

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 中川原修 ,  佐伯昌彦 ,  井上和裕

IPC: H03H9/25 ,  H03H3/08

CPC classification number: H03H9/02929 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49126 ,  Y10T29/49128 ,  Y10T29/4913 ,  Y10T29/49135 ,  Y10T29/49155

Abstract: 提供改善电极的抗应力迁移性，从而耐电性优良的声表面波元件。例如为了在θ旋转Y切割(θ＝36°～42°)的LiTaO3压电基片(2)上形成电极(3)，形成将Ti或Cr作为主成分的基底电极层(5)后，在其上形成将Al作为主成分的Al电极层(4)。Al电极层(4)是外延生长的取向膜，而且成为具有双晶结构的多晶膜，该结构在X射线衍射极点图中观察的衍射图案具有多个对称中心。