公开(公告)号：CN102111121A

公开(公告)日：2011-06-29

申请号：CN201010605965.5

申请日：2010-12-23

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 玉崎大辅 ,  津田基嗣 ,  山崎央 ,  佐伯昌彦 ,  堀川晴信

IPC: H03H9/25

CPC classification number: H03H9/14541

Abstract: 本发明提供一种弹性波装置，即使放置在高温下，也能够抑制电阻的增大及频率特性的恶化，且能够抑制耐电力试验的特性的恶化。弹性波装置(1)具有在压电基板(2)上形成的IDT电极(3)，IDT电极(3)由将多个金属膜层叠而成的层叠金属膜构成，该层叠金属膜具有由Al或Al基合金构成的第一金属膜(3b)、由与所述第一金属膜不同的金属或合金构成的第二金属膜(3e)以及配置于所述第一、第二金属膜间的Cu膜(3c)及Ti膜(3d)，Cu膜(3c)及Ti膜(3d)中的Cu膜(3c)配置于第一金属膜(3b)侧。

公开(公告)号：CN110140295A

公开(公告)日：2019-08-16

申请号：CN201780082143.3

申请日：2017-12-25

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 堀川晴信

IPC: H03H9/145

Abstract: 本发明提供一种能够更加可靠地、且充分地降低低声速区域中的声速的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：压电基板(2)，具有一个主面(2a)；以及IDT电极(3)，设置在一个主面(2a)上。在弹性波装置(1)中，设置有：中央区域，在俯视下位于与弹性波传播方向正交的方向中央侧；第一低声速区域、第二低声速区域，位于中央区域的外侧；以及第一高声速区域、第二高声速区域，位于第一低声速区域、第二低声速区域的外侧。在一个主面(2a)中的位于第一低声速区域以及第二低声速区域的部分设置有槽部(8)，使得在俯视下与第一电极指(4b)以及第二电极指(5b)中的任一者重叠。在槽部(8)内分别设置有声速调整层(7)。

公开(公告)号：CN110140295B

公开(公告)日：2023-02-28

申请号：CN201780082143.3

申请日：2017-12-25

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 堀川晴信

IPC: H03H9/145

Abstract: 本发明提供一种能够更加可靠地、且充分地降低低声速区域中的声速的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：压电基板(2)，具有一个主面(2a)；以及IDT电极(3)，设置在一个主面(2a)上。在弹性波装置(1)中，设置有：中央区域，在俯视下位于与弹性波传播方向正交的方向中央侧；第一低声速区域、第二低声速区域，位于中央区域的外侧；以及第一高声速区域、第二高声速区域，位于第一低声速区域、第二低声速区域的外侧。在一个主面(2a)中的位于第一低声速区域以及第二低声速区域的部分设置有槽部(8)，使得在俯视下与第一电极指(4b)以及第二电极指(5b)中的任一者重叠。在槽部(8)内分别设置有声速调整层(7)。