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公开(公告)号：CN105453426B
公开(公告)日：2018-02-09
申请号：CN201480043995.8
申请日：2014-08-11
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 弹性波装置(1)具有：压电基板(10)、IDT电极(11)、布线(14)、焊盘(20)、下凸块金属(18)、第1电介质层(15)和第2电介质层(16)。IDT电极(11)的至少一部分由第1导电膜(41)构成，布线(14)的至少一部分由具有第1导电膜(41)和第2导电膜(42)的层叠体构成，焊盘(20)的至少一部分由第2导电膜(42)构成。第2电介质层(16)被形成为覆盖第2导电膜(42)与下凸块金属(18)的接触区域(C)以外的区域(NC)。因而，第2导电膜(42)被第2电介质层(16)及下凸块金属(18)覆盖而不会露出到大气中。
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公开(公告)号：CN105794108A
公开(公告)日：2016-07-20
申请号：CN201480066263.0
申请日：2014-12-18
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/058 , H01L41/0475 , H01L2224/24 , H03H3/08 , H03H9/1071 , H03H9/14541
Abstract: 本发明提供一种难以产生压电薄膜的破裂或缺损，并且难以产生特性的恶化的弹性波装置。弹性波装置(1)在支撑基板(2)上设置多层膜(3)，多层膜(3)包含：压电薄膜(6)、和压电薄膜(6)以外的层，设置被设置在压电薄膜(6)的一面的IDT电极(7)，具备与IDT电极(7)电连接的外部连接端子，俯视下，在设置有IDT电极(7)的区域的外侧的区域，多层膜(3)被局部除去，在多层膜(3)被除去的区域的至少一部分，还具备设置在支撑基板(2)上的第1绝缘层(10、11)。
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公开(公告)号：CN118077147A
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN202280068010.1
申请日：2022-10-06
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供使贯通过孔在基板(第二基板)的第二面所占的区域小型化的弹性波装置和弹性波装置的制造方法。弹性波装置具有：第一基板；压电层，具有在第一基板的厚度方向上与第一基板对置的一个主面和在厚度方向上朝向与一个主面相反的方向的另一个主面；功能电极，设置于压电层的一个主面和另一个主面中的至少一者；以及第二基板，具有与压电层的另一个主面对置的第一主面、在厚度方向上朝向与第一主面相反的方向的第二主面、以及从第一主面贯通至第二主面的贯通孔，以相对于第二主面的法线为基准，贯通孔的侧面随着从第二主面去往第一主面而倾斜的角度为0°以上且5°以下。
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公开(公告)号：CN105794107A
公开(公告)日：2016-07-20
申请号：CN201480066259.4
申请日：2014-12-18
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/14544 , H03H3/08 , H03H9/02574 , H03H9/02992 , H03H9/0514 , H03H9/0542 , H03H9/0552 , H03H9/1014 , H03H9/1071 , H03H9/132 , H03H9/145
Abstract: 提供难以出现压电薄膜的破裂或剥落的弹性波装置。在弹性波装置(1)中，在支承基板(2)上层叠将包含压电薄膜(6)的多个膜层叠而成的层叠膜(3)，IDT电极(11)设置在压电薄膜(6)的一面，在IDT电极(11)连接布线电极(12)，布线电极(12)具有引出电极部(13)和焊盘电极部(14)，外部连接端子(7)位于焊盘电极部(14)的上方，外部连接端子(7)与焊盘电极部(14)电连接，在支承基板(2)上，在焊盘电极部(14)上接合外部连接端子(7)，使层叠膜(3)中至少压电薄膜(6)不存在于焊盘电极部(14)的下方。
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公开(公告)号：CN102334290B
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN201080009596.1
申请日：2010-03-03
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/0009 , H03H9/02818 , H03H9/02834 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供一种表面声波元件及其制造方法，该表面声波元件的能量损耗小、且例如在用于滤波器装置时能抑制在主响应的谐振频率附近产生的寄生频率从而能够提高滤波器装置的通频带附近的频率特性。表面声波元件(10)具备压电性基板(11)、梳齿状电极(12)和绝缘膜(13)。梳齿状电极(12)形成在压电性基板上(11)。绝缘膜(13)以覆盖压电性基板(11)和梳齿状电极(12)的方式形成。在将压电性基板(11)中传播的弹性波的波长设为λ、将从压电性基板(11)的上表面到绝缘膜(13)的上表面为止的厚度尺寸的最大值与最小值之差设为h时，h/λ处于0.01≤h/λ≤0.03的范围内。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101765971B
公开(公告)日：2013-05-29
申请号：CN200880100519.X
申请日：2008-06-30
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/059 , H01L2224/11 , H03H3/08 , H03H9/0222 , H03H9/02897 , H03H9/02929 , H03H9/02992 , H03H9/14541 , H03H9/725
Abstract: 本发明提供一种弹性波装置及其制造方法，所述弹性波装置在使用了凸点的倒装式接合时，不仅不易在压电基板上产生裂纹，还能够降低配线图案彼此的电连接部即接触部的接触电阻，改善插入损耗。所述弹性波装置(1)在压电基板(2)上形成第一、第二层叠导电膜，通过第一层叠导电膜(33)形成IDT电极及第一配线图案(16)，通过第二层叠导电膜(31)形成连接凸点(32)的电极焊盘(9)及第二配线图案(17)，形成至少一个第二配线图案(17)重合在第一配线图案(16)上而使两者电连接的接触部(B)，第一层叠导电膜(33)的最上层导电膜由Ti膜(33a)构成，第二层叠导电膜(31)的最下层导电膜是由Al或以Al为主体的合金构成的Al系导电膜(31c)。
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公开(公告)号：CN102111121A
公开(公告)日：2011-06-29
申请号：CN201010605965.5
申请日：2010-12-23
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
CPC classification number: H03H9/14541
Abstract: 本发明提供一种弹性波装置，即使放置在高温下，也能够抑制电阻的增大及频率特性的恶化，且能够抑制耐电力试验的特性的恶化。弹性波装置(1)具有在压电基板(2)上形成的IDT电极(3)，IDT电极(3)由将多个金属膜层叠而成的层叠金属膜构成，该层叠金属膜具有由Al或Al基合金构成的第一金属膜(3b)、由与所述第一金属膜不同的金属或合金构成的第二金属膜(3e)以及配置于所述第一、第二金属膜间的Cu膜(3c)及Ti膜(3d)，Cu膜(3c)及Ti膜(3d)中的Cu膜(3c)配置于第一金属膜(3b)侧。
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公开(公告)号：CN117063401A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202280024593.8
申请日：2022-03-15
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 本发明提供能够抑制压电层对支承构件的粘附的弹性波装置。本发明涉及的弹性波装置(10)具备：压电性基板(12)，包含包括支承基板(16)的支承构件(13)和设置在支承构件(13)上的压电层(14)；功能电极，设置在压电层(14)上；至少1个支承体；和盖部(25)。至少1个支承体中的1个支承体在压电性基板(12)上设置为包围功能电极，在该支承体上设置有盖部(25)。在支承构件(13)设置有第1空洞部(10a)。第1空洞部(10a)在俯视下与功能电极的至少一部分重叠。设置有被压电性基板(12)、设置在压电性基板(12)与盖部(25)之间的支承体和盖部(25)包围的第2空洞部(10b)。将压电性基板(12)、设置在压电性基板(12)与盖部(25)之间的支承体和盖部(25)被层叠的方向设为高度方向，将沿着高度方向的尺寸设为高度时，第1空洞部(10a)的高度比第2空洞部(10b)的高度高。
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公开(公告)号：CN107615659B
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN201680031526.3
申请日：2016-06-10
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种难以产生压电薄膜的破裂、缺口，且难以产生层叠膜中的界面剥离，进而难以产生布线电极的断线的弹性波装置。在支承基板(2)上层叠有包含压电薄膜(4)的层叠膜(3)的弹性波装置(1)。在设置有IDT电极(5a～5c)的区域的外侧的区域，部分地不存在层叠膜(3)。设置有第一绝缘层(12)，使得从不存在该层叠膜(3)的区域(R)的至少一部分到达压电薄膜(4)上。布线电极(6a)从压电薄膜(4)上到达第一绝缘层(12)上，并到达位于区域(R)的第一绝缘层部分上。
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公开(公告)号：CN103460599B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201180069710.4
申请日：2011-12-22
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H05K1/182 , H03H3/08 , H03H9/1071 , H05K3/3431 , H05K2201/0999 , H05K2201/10083 , H05K2201/2018 , Y10T29/49124 , Y10T29/49128 , Y10T29/49147 , Y10T29/49165
Abstract: 本发明提供一种电子部件，能够抑制中空部的泄漏不良因此在耐气候性方面优越。该电子部件(1)在基板(2)的一个主面上形成有由热固性树脂构成、包围功能部(3)且从基板(2)的周围向内侧隔开的框状的支撑体(4)，在支撑体(4)固定盖体(5)以密封框状的支撑体(4)的开口部。框状的支撑体(4)具有框状的支撑体主体(4a)、从支撑体主体(4a)向内侧突出的第1突出部(4b)、和在支撑体主体(4a)与第1突出部(4b)相连的部分从支撑体主体(4a)向外侧突出的第2突出部(4c)。
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