电子器件的制造方法
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100558219C

    公开(公告)日:2009-11-04

    申请号:CN200510052868.7

    申请日:2005-02-24

    Abstract: 本发明揭示一种电子器件的制造方法。在对由载体薄膜支持的陶瓷生片照射激光以形成穿通孔时,所述穿通孔穿通所述陶瓷生片以及所述载体膜本体,同时形成形状为近似圆柱形。采用具有由树脂薄膜构成的载体膜本体12、以及在前述载体膜本体的一主面形成的金属薄膜层11而构成的陶瓷生片用载体膜10,在前述载体膜本体12的另一主面形成陶瓷生片20。

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