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公开(公告)号：CN108781500A
公开(公告)日：2018-11-09
申请号：CN201780017588.3
申请日：2017-03-17
Applicant: 株式会社杰希优
IPC: H05H1/46 , C23C16/509 , C23C16/54 , H01J37/32
Abstract: 本发明提供等离子体生成装置，其能够避免由相对于被成膜部件的等离子体的热量导致的损伤，并且能够高效地成膜。本发明的等离子体生成装置的特征在于，使分别具有多个将主面间贯通的贯通孔(26、28)的一对板状导体部(12、14)经由规定的空隙(13)进行对置，使气体从该一对板状导体部(12、14)的一侧流入至上述贯通孔，通过对上述一对板状导体部(12、14)之间施加高频电压而在上述空隙产生等离子体放电，使产生的等离子体流出至上述一对板状导体部(12、14)的另一侧。
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