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公开(公告)号:CN102308379B
公开(公告)日:2013-12-04
申请号:CN201080006592.8
申请日:2010-02-19
申请人: 株式会社沙迪克
IPC分类号: H01L21/683 , B65G49/06 , G03F7/20 , H01L21/027
CPC分类号: H01L21/6838 , B65G49/061 , B65G2249/045 , C04B35/117 , C04B2235/3206 , C04B2235/3208 , C04B2235/3222 , C04B2235/3232 , C04B2235/3234 , C04B2235/3241 , C04B2235/3262 , C04B2235/3272 , C04B2235/3277 , C04B2235/3418 , C04B2235/3481 , C04B2235/72 , C04B2235/80 , C04B2235/94 , C04B2235/945 , C04B2235/96 , C04B2235/963 , C04B2235/9661 , G03F7/707 , G03F7/70941 , G03F7/7095 , H01L21/6875 , Y10T279/11
摘要: 在本发明中,于载置面上吸附基板的着色陶瓷真空夹盘(2)是由着色陶瓷烧结体构成,其中,所述着色陶瓷烧结体包括55wt%~75wt%的氧化铝(Al2O3)、换算成氧化物(SiO2)至少为3wt%的Si、换算成氧化物(CaO)至少为0.4wt%的Ca、换算成氧化物(MgO)至少为0.4wt%的Mg、着色剂以及1%以下的杂质,并且,于载置面上通过借助研磨粒的喷砂处理而形成有支撑基板的多个销(4)与轮缘(6),并对整个载置面实施借助球形粒子的喷丸处理。
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公开(公告)号:CN102308379A
公开(公告)日:2012-01-04
申请号:CN201080006592.8
申请日:2010-02-19
申请人: 株式会社沙迪克
IPC分类号: H01L21/683 , B65G49/06 , G03F7/20 , H01L21/027
CPC分类号: H01L21/6838 , B65G49/061 , B65G2249/045 , C04B35/117 , C04B2235/3206 , C04B2235/3208 , C04B2235/3222 , C04B2235/3232 , C04B2235/3234 , C04B2235/3241 , C04B2235/3262 , C04B2235/3272 , C04B2235/3277 , C04B2235/3418 , C04B2235/3481 , C04B2235/72 , C04B2235/80 , C04B2235/94 , C04B2235/945 , C04B2235/96 , C04B2235/963 , C04B2235/9661 , G03F7/707 , G03F7/70941 , G03F7/7095 , H01L21/6875 , Y10T279/11
摘要: 在本发明中,于载置面上吸附基板的着色陶瓷真空夹盘(2)是由着色陶瓷烧结体构成,其中,所述着色陶瓷烧结体包括55wt%~75wt%以上的氧化铝(Al2O3)、换算成氧化物(SiO2)至少为3wt%的Si、换算成氧化物(CaO)至少为0.4wt%的Ca、换算成氧化物(MgO)至少为0.4wt%的Mg、着色剂以及1%以下的杂质,并且,于载置面上通过借助研磨粒的喷砂处理而形成有支撑基板的多个销(4)与轮缘(6),并对整个载置面实施借助球形粒子的喷丸处理。
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