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公开(公告)号:CN118669562A
公开(公告)日:2024-09-20
申请号:CN202410291364.3
申请日:2024-03-14
Applicant: 株式会社爱信
Abstract: 本发明提供一种能够抑制装置的上下方向上的厚度增大的阀装置。阀装置(100)具备:构成流路的第一流路部件(200)和第二流路部件(170)、对流路进行开闭的多个第一阀(130B)和多个第二阀(140B)、及从下方支承多个第一阀(130B)和多个第二阀(140B)的基板(120)。第一流路部件(200)和第二流路部件(170)在基板(120)上层叠。流路(202、203)位于在与上下方向D3正交的方向上从第一阀(130B)的最上部偏离的位置。流路(204、205)位于在与上下方向正交的方向上从第二阀(140B)的最上部偏离的位置。