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公开(公告)号：CN113039308A
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN201980075217.X
申请日：2019-12-20
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明涉及一种成膜装置，具有：具有成膜室的腔室、支承基板的工作台、光源单元、气体供给部以及加热部。上述光源单元具有照射能量射线的照射源，并且与所述成膜室相向地配置。上述气体供给部具有喷淋板和气体扩散室。上述喷淋板使上述能量射线进行透射，包括与上述光源单元相向的第一面、与上述工作台相向的第二面以及贯通上述第一面和上述第二面的多个贯通孔。上述气体扩散室面向上述第一面并使含有受到上述能量射线的照射而固化的能量射线固化树脂的原料气体扩散。上述气体供给部将上述原料气体从上述气体扩散室供给至上述成膜室。上述加热部加热上述喷淋板的上述第一面。
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公开(公告)号：CN112334595A
公开(公告)日：2021-02-05
申请号：CN201980043138.0
申请日：2019-08-29
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明提供一种以良好的膜厚分布在基板上形成树脂层的成膜装置。在成膜装置中，冷却台具有支承基板的支承面和与支承面相连的侧面部，构成为被支承面支承的上述基板的外周端从侧面部突出。防附着框部为环状，配置成包围冷却台的侧面部，在与基板的上述外周端相向的位置设有凹部，侧面部被凹部包围。气体供给部向支承面供给含有能量束固化树脂的原料气体。照射源与支承面相向，并向上述支承面照射使能量束固化树脂固化的能量束。真空槽容纳有冷却台、防附着框部、气体供给部以及照射源。
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公开(公告)号：CN112334595B
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN201980043138.0
申请日：2019-08-29
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明提供一种以良好的膜厚分布在基板上形成树脂层的成膜装置。在成膜装置中，冷却台具有支承基板的支承面和与支承面相连的侧面部，构成为被支承面支承的上述基板的外周端从侧面部突出。防附着框部为环状，配置成包围冷却台的侧面部，在与基板的上述外周端相向的位置设有凹部，侧面部被凹部包围。气体供给部向支承面供给含有能量束固化树脂的原料气体。照射源与支承面相向，并向上述支承面照射使能量束固化树脂固化的能量束。真空槽容纳有冷却台、防附着框部、气体供给部以及照射源。
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公开(公告)号：CN112424389A
公开(公告)日：2021-02-26
申请号：CN201980043051.3
申请日：2019-09-10
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明的一个方式涉及的成膜装置具有腔室、工作台、光源单元、气体供给部以及清洗单元。所述腔室具有：腔室主体，其具有成膜室；顶板，其安装在所述腔室主体，具有窗部。所述工作台配置在所述成膜室，具有支承基板的支承面。所述光源单元设置在所述顶板，具有经由所述窗部向所述支承面照射能量束的照射源。所述气体供给部将原料气体供给至所述成膜室，所述原料气体包含受所述能量束的照射而固化的能量束固化树脂。所述清洗单元连接至所述腔室，向所述成膜室导入清洗气体，所述清洗气体去除附着在所述顶板、腔室的所述能量束固化树脂。
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