-
公开(公告)号：CN113490763B
公开(公告)日：2022-07-19
申请号：CN202080016679.7
申请日：2020-04-27
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: C23C14/34 , C04B35/01 , H01L21/363
Abstract: 本发明实施例涉及更加可靠地抑制接合材料侵入在相邻的靶部件之间形成间隙。衬管为筒状且在外周面形成有多个凹部。靶主体具有包围衬管的外周面的圆筒状的多个靶部件，多个靶部件分别以分离的方式排列设置。通过在中心轴方向上排列多个靶部件而在相邻的靶部件之间形成的间隙环绕在衬管的中心轴周围，间隙与多个凹部分别交叉。接合材料设置在衬管与靶主体之间，将多个靶部件分别与上述衬管接合。遮挡部件以分别跨过多个凹部的方式配置在接合材料与靶主体之间，从接合材料侧遮挡间隙。
-
公开(公告)号：CN113490763A
公开(公告)日：2021-10-08
申请号：CN202080016679.7
申请日：2020-04-27
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: C23C14/34 , C04B35/01 , H01L21/363
Abstract: 本发明实施例涉及更加可靠地抑制接合材料侵入在相邻的靶部件之间形成间隙。衬管为筒状且在外周面形成有多个凹部。靶主体具有包围衬管的外周面的圆筒状的多个靶部件，多个靶部件分别以分离的方式排列设置。通过在中心轴方向上排列多个靶部件而在相邻的靶部件之间形成的间隙环绕在衬管的中心轴周围，间隙与多个凹部分别交叉。接合材料设置在衬管与靶主体之间，将多个靶部件分别与上述衬管接合。遮挡部件以分别跨过多个凹部的方式配置在接合材料与靶主体之间，从接合材料侧遮挡间隙。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103210116A
公开(公告)日：2013-07-17
申请号：CN201180053642.2
申请日：2011-11-14
Applicant: 株式会社爱发科
Inventor： 田屋和美
IPC: C23C14/34
CPC classification number: C23C14/3407
Abstract: 本发明提供一种与接合材料的粘附性优异的背衬板。上述背衬板(1)包括：背衬板主体(11)和金属化层(12)。背衬板主体(11)具有涂覆有由铟、锡或它们的合金形成的接合材料的接合面(11a)，由第一金属材料形成。金属化层(12)形成在接合面(11a)上，由上述第一金属材料与对上述接合材料的润湿性比第一金属材料高的第二金属材料的合金相构成。由此，金属化层(12)与背衬板主体(11)的接合面(11a)一体化，因此防止金属化层(12)从接合面(11a)剥离。另外，上述合金相包含有对接合材料的润湿性高的金属材料，因此能够提高与接合材料的粘附性。
-
-
-
Search Results
7
records
(took 0.016 seconds)
