喷射头及制造方法、微型器件、喷墨头、墨盒及打印设备

    公开(公告)号:CN1876378A

    公开(公告)日:2006-12-13

    申请号:CN200610093266.0

    申请日:2002-09-04

    Abstract: 一种液滴喷射头,包括通过分割硅晶片形成的芯片,所述硅晶片具有相互交叉的第一方向和第二方向。所述芯片包括平行于第一方向的第一分割线和平行于第二方向的第二分割线。所述芯片是通过以下方法得到的,即,利用第一分割方法在所述第一分割线上局部形成穿透所述硅晶片的切口,沿着所述第一分割线将所述芯片从所述硅晶片上分割;并且通过第二分割方法沿着所述第二分割线从所述硅晶片上对所述芯片进行分割,其中,所述硅晶片为(110)晶向的,所述芯片是由该硅晶片形成的,并且通过蚀刻从该硅晶片上对所述芯片进行分割的所述第一分割线平行于所述硅晶片的(112)方向。

    喷射头及制造方法、微型器件、喷墨头、墨盒及打印设备

    公开(公告)号:CN100478178C

    公开(公告)日:2009-04-15

    申请号:CN200610093266.0

    申请日:2002-09-04

    Abstract: 一种液滴喷射头,包括通过分割硅晶片形成的芯片,所述硅晶片具有相互交叉的第一方向和第二方向。所述芯片包括平行于第一方向的第一分割线和平行于第二方向的第二分割线。所述芯片是通过以下方法得到的,即,利用第一分割方法在所述第一分割线上局部形成穿透所述硅晶片的切口,沿着所述第一分割线将所述芯片从所述硅晶片上分割;并且通过第二分割方法沿着所述第二分割线从所述硅晶片上对所述芯片进行分割,其中,所述硅晶片为(110)晶向的,所述芯片是由该硅晶片形成的,并且通过蚀刻从该硅晶片上对所述芯片进行分割的所述第一分割线平行于所述硅晶片的 方向。

    液体排放头、液体排放装置和成像设备

    公开(公告)号:CN101065250A

    公开(公告)日:2007-10-31

    申请号:CN200580040880.4

    申请日:2005-11-15

    Abstract: 一种液体排放头,包括:基底构件;多个喷嘴,用来排放液滴;多个液体腔室,它们分别与多个喷嘴连通;以及多个压电元件,用来产生出压力以挤压在多个液体腔室中的每一个中的液体,在液体排放头中,在基底构件上沿着多个压电元件的列方向形成多排压电元件构件,在这些压电元件构件中多个压电元件通过开槽加工形成有多列沟槽。

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