公开(公告)号：CN1715842A

公开(公告)日：2006-01-04

申请号：CN200510060053.3

申请日：2005-03-31

申请人： 株式会社米姿托约

发明人： 马克·费尔德曼

IPC分类号： G01J9/00

CPC分类号： G01J9/00

摘要： 提供一种辐射测量装置，用于确定来自辐射源的辐射的波长相关的特性。所述辐射测量装置包括波长相关的光学元件(例如带通滤光器)，以及光学功率测量检测器(例如光检测器)。至少一个光束入射到沿着所述装置的光路设置的偏振敏感的反射与/或透射表面上，被所述波长相关的光学元件透射，并被沿着所述光路的光学功率测量检测器接收。所述辐射测量装置还包括沿着所述光路在所述光学功率测量检测器之前设置的线性偏振器。在操作时，所述线性偏振器确保由所述偏振敏感的反射与/或透射表面接收的光束具有基本上固定的偏振状态，而和原始的入射光束的偏振状态无关，借以减少或消除在所述辐射测量装置中的不受控制的偏振相关误差。

公开(公告)号：CN100595535C

公开(公告)日：2010-03-24

申请号：CN200510060053.3

申请日：2005-03-31

申请人： 株式会社米姿托约

发明人： 马克·费尔德曼

IPC分类号： G01J9/00

CPC分类号： G01J9/00

摘要： 提供一种辐射测量装置，用于确定来自辐射源的辐射的波长相关的特性。所述辐射测量装置包括波长相关的光学元件(例如带通滤光器)，以及光学功率测量检测器(例如光检测器)。至少一个光束入射到沿着所述装置的光路设置的偏振敏感的反射与/或透射表面上，被所述波长相关的光学元件透射，并被沿着所述光路的光学功率测量检测器接收。所述辐射测量装置还包括沿着所述光路在所述光学功率测量检测器之前设置的线性偏振器。在操作时，所述线性偏振器确保由所述偏振敏感的反射与/或透射表面接收的光束具有基本上固定的偏振状态，而和原始的入射光束的偏振状态无关，借以减少或消除在所述辐射测量装置中的不受控制的偏振相关误差。