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公开(公告)号：CN108472610B
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN201780006815.2
申请日：2017-01-13
申请人： 株式会社荏原制作所
摘要： 本发明提供能够制造与使用点所必需的量对应的供给液体的供给液体制造装置。供给液体制造装置具备：将水与臭氧气体混合而生成臭氧水的混合器(113)；使向混合器(113)供给的水升压的升压泵(112)；将由混合器(113)生成的臭氧水气液分离成向使用点(119)供给的臭氧水和从排气口(125)排出的排出气体的气液分离箱(114)；对从气液分离箱(114)向使用点(119)供给的臭氧水的流量进行测定的流量计(117)；根据由流量计(117)测定的臭氧水的流量，控制升压泵(112)，对升压并供给至混合器(113)的水的压力(流量)进行调整的流量控制部(126)；以及以将气液分离箱(114)内的水位保持为恒定的方式控制排出气体的排气压力的排气压力控制部(123)。
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公开(公告)号：CN108472610A
公开(公告)日：2018-08-31
申请号：CN201780006815.2
申请日：2017-01-13
申请人： 株式会社荏原制作所
摘要： 本发明提供能够制造与使用点所必需的量对应的供给液体的供给液体制造装置。供给液体制造装置具备：将水与臭氧气体混合而生成臭氧水的混合器(113)；使向混合器(113)供给的水升压的升压泵(112)；将由混合器(113)生成的臭氧水气液分离成向使用点(119)供给的臭氧水和从排气口(125)排出的排出气体的气液分离箱(114)；对从气液分离箱(114)向使用点(119)供给的臭氧水的流量进行测定的流量计(117)；根据由流量计(117)测定的臭氧水的流量，控制升压泵(112)，对升压并供给至混合器(113)的水的压力(流量)进行调整的流量控制部(126)；以及以将气液分离箱(114)内的水位保持为恒定的方式控制排出气体的排气压力的排气压力控制部(123)。
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公开(公告)号：CN109954414B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN201811585934.0
申请日：2018-12-24
申请人： 株式会社荏原制作所
摘要： 本发明提供气体溶解液制造装置及气体溶解液的制造方法。气体溶解液制造装置(1)具备气体供给部(2)、第一液体供给部(3)、气体溶解液生成部(4)、第二液体生成部(20)、第二液体供给部(21)、流量测定部(14)、以及控制部(23)。控制部(23)根据在流量测定部(14)测定的循环的气体溶解液的流量，对供给到气体溶解液生成部(4)的第一液体的供给量进行控制。气体溶解液生成部(4)使从气体供给部(2)供给的气体溶解于从第一液体供给部(3)供给的第一液体和从第二液体供给部(21)供给的第二液体，从而生成气体溶解液。
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公开(公告)号：CN113213610A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN202110096167.2
申请日：2021-01-25
申请人： 株式会社荏原制作所
IPC分类号： C02F1/68
摘要： 本发明提供一种能够将未溶解于气体溶解液的气体再利用来生成高浓度的气体溶解液的气体溶解液制造装置。气体溶解液制造装置(1)具备：气体供给管线(2)，供给作为气体溶解液的原料的气体；液体供给管线(3)，供给作为气体溶解液的原料的液体；气体溶解液生成部(4)，将气体与液体混合而生成气体溶解液；气液分离部(5)，将生成的气体溶解液气液分离为向使用点供给的供给液体和从排气口排出的排出气体；以及气体溶解部(6)，设置于液体供给管线(4)，且使气液分离后的排出气体溶解于液体。气体溶解部(6)由中空纤维膜构成，该中空纤维膜由气体透过性膜构成。
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公开(公告)号：CN112023736A
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN202010493049.0
申请日：2020-06-03
申请人： 株式会社荏原制作所
IPC分类号： B01F3/04
摘要： 本发明提供一种气体溶解液供给装置及气体溶解液供给方法，其中，气体溶解液供给装置在气体溶解部使从气体供给部供给的气体溶解于从液体供给部供给的液体，从而生成气体溶解液，将在气体溶解部生成的气体溶解液储存于气体溶解液箱，从气体溶解液箱向使用点供给气体溶解液，对向使用点供给的气体溶解液中的返回气体溶解部的气体溶解液的流量进行测定，根据测定的结果，对从液体供给部向气体溶解部供给的液体的流量进行调整。
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公开(公告)号：CN109954414A
公开(公告)日：2019-07-02
申请号：CN201811585934.0
申请日：2018-12-24
申请人： 株式会社荏原制作所
摘要： 本发明提供气体溶解液制造装置及气体溶解液的制造方法。气体溶解液制造装置(1)具备气体供给部(2)、第一液体供给部(3)、气体溶解液生成部(4)、第二液体生成部(20)、第二液体供给部(21)、流量测定部(14)、以及控制部(23)。控制部(23)根据在流量测定部(14)测定的循环的气体溶解液的流量，对供给到气体溶解液生成部(4)的第一液体的供给量进行控制。气体溶解液生成部(4)使从气体供给部(2)供给的气体溶解于从第一液体供给部(3)供给的第一液体和从第二液体供给部(21)供给的第二液体，从而生成气体溶解液。
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公开(公告)号：CN108939959A
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201810473585.7
申请日：2018-05-17
申请人： 株式会社荏原制作所
发明人： 中川洋一
CPC分类号： B01F3/04099 , B01D19/0005 , B01D19/0036 , B01D19/0063 , B01D19/0073 , B01D2259/45 , B01F3/2223 , B01F2003/04886 , C02F1/78 , B01F1/00 , B01F1/0038 , B01F3/04 , B01F3/22 , B01F13/06
摘要： 本发明提供一种气体溶解液制造装置，能够改变气液分离部的内部空间的容积，能够根据装置的使用状况而适当地调整气液分离部的内部空间的容积。气体溶解液制造装置(1)具备：气体溶解部(4)，该气体溶解部使第一原料的液体溶解于第二原料的气体而产生混合液体；以及气液分离部(7)，该气液分离部将由气体溶解部(4)产生的混合液体气液分离成向使用点(5)供给的气体溶解液和从排气口(6)排出的排出气体。气液分离部具备改变该气液分离部(7)的内部空间的容积的容积可变部(8、20)。
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公开(公告)号：CN114272776A
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN202111158227.5
申请日：2021-09-30
申请人： 株式会社荏原制作所
摘要： 本发明提供一种能够实现气体溶解液的高浓度化，能够抑制气体溶解液的送出压力的变动的气体溶解液供给装置及由气体溶解液供给装置执行的方法。气体溶解液供给装置(1)具备：积存气体溶解液的第一气液分离器(8)、设置于第一气液分离器的后段并积存向使用点供给的气体溶解液的第二气液分离器(16)、设置于第一气液分离器和第二气液分离器之间的中间线路(17)、设置于中间线路并使从第一气液分离器向第二气液分离器供给的气体溶解液的压力上升的升压泵(18)、供给成为气体溶解液的原料的气体的气体供给线路(2)、设置于中间线路并使从气体供给线路供给的气体溶解于从第一气液分离器供给的气体溶解液的气体溶解部(20)。
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公开(公告)号：CN108474132B
公开(公告)日：2020-09-18
申请号：CN201680074509.8
申请日：2016-12-05
申请人： 株式会社荏原制作所
IPC分类号： C25D17/10 , H01L21/288
摘要： 本发明提供一种调节板及具备该调节板的镀覆装置，对于特征及处理条件不同的多个基板，可抑制终端效应的影响导致的面内均匀性降低。根据本发明的一方式，提供一种调节板，用于调整在阳极与被镀覆的基板之间的电流。此调节板具有：板主体部，具有供电流通过的开口；多个第一板，用于缩小所述开口的口径；以及第一移动机构，使所述多个第一板在所述开口的径向并行移动。
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公开(公告)号：CN109012250A
公开(公告)日：2018-12-18
申请号：CN201810593733.9
申请日：2018-06-11
申请人： 株式会社荏原制作所
发明人： 中川洋一
CPC分类号： B01F3/04758 , B01F3/04503 , B01F3/0876 , B01F3/2223 , B01F5/0262 , B01F5/0471 , B01F5/0498 , B01F2003/04886 , B01F2215/008 , B01F2215/0096 , B01F3/04468 , B01F15/00993 , B01F15/0203 , B01F15/0225 , B01F15/0254
摘要： 本发明提供能够使第二原料的气体溶解于第一原料的液体时的溶解效率提高的气体溶解液制造装置。气体溶解液制造装置(1)具备：气体溶解部(5)，该气体溶解部使第二原料的气体溶解于第一原料的液体而产生规定浓度的气体溶解液；以及气液分离部(8)，该气液分离部将由气体溶解部产生的气体溶解液气液分离供给液体和排出气体。气体溶解部具备：第一喷嘴(9)，该第一喷嘴使第一原料的液体雾化；雾混合部(11)，该雾混合部将第一原料的液体与第二原料的气体混合，产生浓度比规定浓度高的高浓度的气体溶解液；以及液体混合部(12)，该液体混合部将由雾混合部产生的高浓度的气体溶解液与第一原料的液体混合，产生规定浓度的气体溶解液。
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