公开(公告)号：CN115483132A

公开(公告)日：2022-12-16

申请号：CN202210651856.X

申请日：2022-06-10

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 高桥广毅 ,  近藤大地 ,  今村勇翔

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/66 ,  B24B37/00 ,  B24B37/11 ,  B24B37/34 ,  B24B49/00 ,  B24B51/00 ,  B24B55/06 ,  B24B57/00 ,  B24B57/02

Abstract: 本发明是监视清洗部件的污染程度的基板清洗装置、基板处理装置、基板清洗部件的污染程度判定方法、能够对附着于基板的微粒数进行推定的基板清洗装置、基板处理装置以及附着于基板的微粒数的推定方法。该基板清洗装置具备：保持基板的基板保持部；与被保持的所述基板滑动接触且使用从第一喷嘴供给的第一清洗液清洗所述基板的基板清洗部件；在从所述基板保持部离开的退避位置处与所述基板清洗部件滑动接触，并使用从第二喷嘴供给的第二清洗液自清洗所述基板清洗部件的自清洗部件；测量用于所述基板清洗部件的自清洗的所述第二清洗液的排液的物性值的测量单元；以及基于所述排液的物性值来推定附着于清洗后的基板的微粒数的控制部。