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公开(公告)号：CN113878489A
公开(公告)日：2022-01-04
申请号：CN202110672653.4
申请日：2021-06-17
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: B24B37/013 , B24B37/04 , B24B37/10 , B24B37/30 , B24B37/34
Abstract: 一种研磨装置及记录介质，即使研磨的状况变化也能推定研磨中的对象时刻的参数。研磨装置具有：生成部，该生成部使用与研磨中的对象时刻的研磨部件和对象基板之间的摩擦力有关的数据、或者研磨部件或对象基板的温度的测定数据生成特征量；以及推定部，该推定部对使用学习用数据组完成学习的机器学习模型至少输入通过该生成部生成的特征量，输出对象基板的研磨中的对象时刻的研磨量或残余膜量的推定值，该学习用数据组在输入中包括基于与研磨中的各时刻的研磨部件和基板之间的摩擦力有关的数据的特征量、或基于研磨部件或基板的温度的测定数据的特征量，将至少使用研磨后测定出的膜厚推定的研磨中的各时刻的研磨量或残余膜量作为输出。
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