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公开(公告)号：CN119343735A
公开(公告)日：2025-01-21
申请号：CN202380048937.3
申请日：2023-06-13
Applicant: 株式会社IIPT
IPC: H01J37/08 , H01J37/04 , H01J37/12 , H01J37/248 , H01J37/305 , H01J27/20
Abstract: 提供了一种GCIB装置，其能够改变要发射的离子的能量，而不改变：在特定电压下优化的提取电极布置；具有永磁型磁体的GCIB装置的电极布置，用于使用所述电压有效地去除单价单体离子；或永磁型磁体的磁场强度。除了第一高电压电源（22a）至第三高电压电源（22c）外，GCIB装置还设有产生正高电压或负高电压的另一高电压电源（22d），以及另一高电压施加电路（27），该另一高电压施加电路（27）从高电压电源（22d）向提取电极（7）的接地电极部分和静电透镜（9a、9b）的接地电极部分施加另一正高电压或负高电压。
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