用于纯化甲硅烷的工艺
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102317208B

    公开(公告)日:2013-12-04

    申请号:CN201080003438.5

    申请日:2010-11-08

    申请人: 株式会社KCC

    IPC分类号: C01B33/04 C01B33/039

    CPC分类号: C01B33/046

    摘要: 提供的是一种纯化甲硅烷的方法。更具体地说,所述方法包括:通过分馏从含有甲硅烷和乙烯的原料中去除杂质(操作1);通过使在操作1中纯化的原料穿过活性炭来去除乙烯和剩余杂质(操作2)。根据所述方法,可以通过使用活性炭选择性地吸附难以通过分馏分离的乙烯来更简单地且更有效地获得高纯度甲硅烷,而没有另外产生副产物。

    用于纯化甲硅烷的工艺
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102317208A

    公开(公告)日:2012-01-11

    申请号:CN201080003438.5

    申请日:2010-11-08

    申请人: 株式会社KCC

    IPC分类号: C01B33/04 C01B33/039

    CPC分类号: C01B33/046

    摘要: 提供的是一种纯化甲硅烷的方法。更具体地说,所述方法包括:通过分馏从含有甲硅烷和乙烯的原料中去除杂质(操作1);通过使在操作1中纯化的原料穿过活性炭来去除乙烯和剩余杂质(操作2)。根据所述方法,可以通过使用活性炭选择性地吸附难以通过分馏分离的乙烯来更简单地且更有效地获得高纯度甲硅烷,而没有另外产生副产物。