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公开(公告)号：CN1309008C
公开(公告)日：2007-04-04
申请号：CN03126489.1
申请日：2003-09-28
申请人： 株式会社ORC制作所
IPC分类号： H01J65/00
摘要： 本发明提供一种可廉价且可靠地制造外侧电极的受激准分子灯。该受激准分子灯包含由形成为同轴圆筒状的内管(11)和外管(12)组成的放电管(10)，并通过在内管(11)的内侧的内侧电极(13)和配置于外管(12)的外表面的外侧电极(14)之间施加高电压，使封在内管(11)和外管(12)之间的空间(15)内的气体放电发光，其特征在于，外侧电极(14)是把金属电极图案从转印纸转印到外管(12)的表面并进行烧结形成的。根据本发明的实施方式，外侧电极(14)是具有70%以上的开口率的网状电极。外侧电极(14)是采用金、银、铂、镍或铬金属，或者两种或两种以上这些金属的合金形成的。
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公开(公告)号：CN1828822A
公开(公告)日：2006-09-06
申请号：CN200610064812.8
申请日：2002-12-06
申请人： 株式会社ORC制作所
摘要： 本发明提供一种受激准分子灯，可防止受激准分子灯的双重管灯泡接合部由于紫外线而变脆。在受激准分子灯的有效发光部和接合部3之间的内管1和外管2的管体设有用于阻止紫外线的遮光部4。遮光部4是用于使吸收或散射紫外线的遮光村料分散的不透明石英玻璃或维科尔高硼硅酸耐热玻璃。本发明可对由于光纤效果而引起的紫外线向接合部3的集中进行抑制，并可防止在接合部3产生微裂纹。并且，在双重管灯泡的有效发光部以外的外表面上涂敷粘合材料等硬化剂5，从而可提高机械强度，并可抑制微裂纹的扩散。
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公开(公告)号：CN1506993A
公开(公告)日：2004-06-23
申请号：CN02155400.5
申请日：2002-12-06
申请人： 株式会社ORC制作所
摘要： 本发明提供一种受激准分子灯，可防止受激准分子灯的双重管灯泡接合部由于紫外线而变脆。在受激准分子灯的有效发光部和接合部3之间的内管1和外管2的管体设有用于阻止紫外线的遮光部4。遮光部4是用于使吸收或散射紫外线的遮光材料分散的不透明石英玻璃或维科尔高硼硅酸耐热玻璃。本发明可对由于光纤效果而引起的紫外线向接合部3的集中进行抑制，并可防止在接合部3产生微裂纹。并且，在双重管灯泡的有效发光部以外的外表面上涂敷粘合材料等硬化剂5，从而可提高机械强度，并可抑制微裂纹的扩散。
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公开(公告)号：CN100550279C
公开(公告)日：2009-10-14
申请号：CN200610064812.8
申请日：2002-12-06
申请人： 株式会社ORC制作所
摘要： 本发明提供一种受激准分子灯，可防止受激准分子灯的双重管灯泡接合部由于紫外线而变脆。在受激准分子灯的有效发光部和接合部3之间的内管1和外管2的管体设有用于阻止紫外线的遮光部4。遮光部4是用于使吸收或散射紫外线的遮光村料分散的不透明石英玻璃或维科尔高硼硅酸耐热玻璃。本发明可对由于光纤效果而引起的紫外线向接合部3的集中进行抑制，并可防止在接合部3产生微裂纹。并且，在双重管灯泡的有效发光部以外的外表面上涂敷粘合材料等硬化剂5，从而可提高机械强度，并可抑制微裂纹的扩散。
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公开(公告)号：CN1275277C
公开(公告)日：2006-09-13
申请号：CN02155400.5
申请日：2002-12-06
申请人： 株式会社ORC制作所
摘要： 本发明提供一种受激准分子灯，可防止受激准分子灯的双重管灯泡接合部由于紫外线而变脆。在受激准分子灯的有效发光部和接合部(3)之间的内管(1)和外管(2)的管体设有用于阻止紫外线的遮光部(4)。遮光部(4)是用于使吸收或散射紫外线的遮光材料分散的不透明石英玻璃或维科尔高硼硅酸耐热玻璃。本发明可对由于光纤效果而引起的紫外线向接合部(3)的集中进行抑制，并可防止在接合部(3)产生微裂纹。并且，在双重管灯泡的有效发光部以外的外表面上涂敷粘合材料等硬化剂(5)从而可提高机械强度，并可抑制微裂纹的扩散。
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公开(公告)号：CN1296964C
公开(公告)日：2007-01-24
申请号：CN03103668.6
申请日：2003-02-20
申请人： 株式会社ORC制作所
IPC分类号： H01J65/00
摘要： 本发明提供了一种受激准分子灯装置，该受激准分子灯装置能快速地检测通过放电管的中空部的冷却水的漏水，防止漏水侵入工件，或防止污染洁净室。受激准分子灯装置(10)通过保护管(30)，将放电管(20)的外侧包围并密封。使氮气等的冷却用气体通过上述放电管(20)和保护管(30)之间的空间(31)，对其进行强制冷却。如果在该空间(31)发生漏水，则通过漏水检测器(52)检测该漏水，或通过湿度传感器(55)检测混入到冷却用气体中的水蒸汽，发出警报。此外，在设置于放电管(20)和保护管(30)的端部的管座(40)上，设置有排放漏水的排放通路(44)。
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公开(公告)号：CN1499569A
公开(公告)日：2004-05-26
申请号：CN200310103478.9
申请日：2003-11-07
申请人： 株式会社ORC制作所
IPC分类号： H01J65/00
摘要： 本发明提供一种提高安全性、效率高且经济性优良的利用电介质阻挡放电或高频放电的受激准分子灯。该受激准分子灯包括由形成为同轴圆筒状的内管11和外管12组成的放电管10，并通过在形成于内管11上的内侧电极13和形成于外管12上的外侧电极14之间施加高电压，使封入在内管11和外管12之间的放电空间内的气体放电发光。在该受激准分子灯中，用绝缘材料涂敷外侧电极14形成涂层15，使外侧电极14不露出。
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公开(公告)号：CN1494105A
公开(公告)日：2004-05-05
申请号：CN03126489.1
申请日：2003-09-28
申请人： 株式会社ORC制作所
IPC分类号： H01J65/00
摘要： 本发明提供一种可廉价且可靠地制造外侧电极的受激准分子灯。该受激准分子灯包含由形成为同轴圆筒状的内管11和外管12组成的放电管10，并通过在内管11的内侧的内侧电极15和配置于外管12的外表面的外侧电极14之间施加高电压，使封在内管11和外管12之间的空间15内的气体放电发光，其特征在于，外侧电极14是把金属电极图案从转印纸转印到外管12的表面并进行烧结形成的。根据本发明的实施方式，外侧电极14是具有70％以上的开口率的网状电极。外侧电极14是采用金、银、铂、镍或铬金属，或者两种或两种以上这些金属的合金形成的。
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公开(公告)号：CN1479347A
公开(公告)日：2004-03-03
申请号：CN03103668.6
申请日：2003-02-20
申请人： 株式会社ORC制作所
IPC分类号： H01J65/00
摘要： 本发明提供了一种受激准分子灯装置，该受激准分子灯装置能快速地检测通过放电管的中空部的冷却水的漏水，防止漏水侵入工件，或防止污染洁净室。受激准分子灯装置(10)通过保护管(30)，将放电管(20)的外侧包围并密封。使氮气等的冷却用气体通过上述放电管(20)和保护管(30)之间的空间(31)，对其进行强制冷却。如果在该空间(31)发生漏水，则通过漏水检测器(52)检测该漏水，或通过湿度传感器(55)检测混入到冷却用气体中的水蒸汽，发出警报。此外，在设置于放电管(20)和保护管(30)的端部的管座(40)上，设置有排放漏水的排放通路(44)。
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