公开(公告)号：CN105051243B

公开(公告)日：2017-06-23

申请号：CN201480014059.4

申请日：2014-02-17

Applicant: 株式会社V技术

Inventor： 斋藤雄二 ,  工藤修二 ,  小菅崇之 ,  水村通伸

IPC: C23C14/04

CPC classification number: B32B38/10 ,  B32B15/00 ,  B32B2310/0843 ,  C23C14/042

Abstract: 本发明是将形成了多个开口图案的金属掩模片(4)张紧而固定于框状的金属框架7上的结构的成膜掩模的制造方法，进行如下步骤：第1步骤，在被施加一定张力的合成纤维的网(1)上粘接金属掩模片(4)的周缘部；第2步骤，将与金属掩模片(4)的内含多个开口图案的大小的成膜有效区域对应的网(1)的部分切除；第3步骤，在金属掩模片(4)的周缘部从与网(1)相反的一侧接合、固定框架(7)；以及第4步骤，将网(1)从金属掩模片(4)除去。

公开(公告)号：CN105051243A

公开(公告)日：2015-11-11

申请号：CN201480014059.4

申请日：2014-02-17

Applicant: 株式会社V技术

Inventor： 斋藤雄二 ,  工藤修二 ,  小菅崇之 ,  水村通伸

IPC: C23C14/04

CPC classification number: B32B38/10 ,  B32B15/00 ,  B32B2310/0843 ,  C23C14/042

Abstract: 本发明是将形成了多个开口图案的金属掩模片(4)张紧而固定于框状的金属框架7上的结构的成膜掩模的制造方法，进行如下步骤：第1步骤，在被施加一定张力的合成纤维的网(1)上粘接金属掩模片(4)的周缘部；第2步骤，将与金属掩模片(4)的内含多个开口图案的大小的成膜有效区域对应的网(1)的部分切除；第3步骤，在金属掩模片(4)的周缘部从与网(1)相反的一侧接合、固定框架(7)；以及第4步骤，将网(1)从金属掩模片(4)除去。