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公开(公告)号：CN105612271A
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201480055662.7
申请日：2014-10-07
Applicant: 株式会社V技术
CPC classification number: H05B33/10 , C23C14/042 , H01L51/0011
Abstract: 本发明涉及成膜掩膜及其制造方法。上述成膜掩膜通过具备掩膜板(1)和磁性金属构件的金属掩膜(2)而构成，其中，掩膜板(1)具备：树脂制的薄片(5)，其与被成膜在基板上的薄膜图案对应地形成多个开口图案(4)；以及磁性金属薄膜(7)，其在上述薄片(5)的一面(5a)被设置在形成了上述多个开口图案(4)的有效区域内，并在其上设置了内含上述多个开口图案(4)中的至少一个开口图案(4)的大小的贯通孔(6)，磁性金属构件的金属掩膜2在上述掩膜板(1)的上述磁性金属薄膜(7)侧与上述掩膜板1分离而独立地被设置，在其上形成了内含上述磁性金属薄膜(7)的大小的开口部(9)。
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公开(公告)号：CN103262213B
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201180059322.8
申请日：2011-11-22
Applicant: 株式会社V技术
IPC: B23K26/064 , B23K26/067 , H01L21/02
CPC classification number: H01L21/67115 , B23K26/066 , B23K26/0676 , B23K2101/40 , H01L21/02532 , H01L21/0268 , H01L21/02691 , H01L21/477
Abstract: 本发明涉及一种激光退火装置，向形成在TFT基板(10)上的非晶硅膜照射多个激光束(Lb)而进行退火处理，其具备：掩模(3)，其形成有与TFT基板(10)上的被退火区域的形状相似的形状的多个开口；微型透镜基板(4)，其经由形成在一面上的多个微型透镜使分别通过了掩模(3)的多个开口的多个激光束(Lb)会聚到TFT基板(10)上，从而向非晶硅膜施加一定的光能；一对引导件(25)，它们呈半圆柱状的形状，隔着微型透镜基板(4)以轴心大致平行的方式对置配置在微型透镜基板(4)的两缘部的位置，且顶部比微型透镜的顶部的位置向TFT基板(10)侧突出；薄膜(22)，其以能够移动的方式张设在一对引导件(25)间并使激光束(Lb)透过。由此，容易进行激光束的照射能量的维持管理，且能抑制照射图案的形状紊乱。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103262213A
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN201180059322.8
申请日：2011-11-22
Applicant: 株式会社V技术
IPC: H01L21/20 , B23K26/00 , B23K26/04 , B23K26/06 , H01L21/268 , B23K101/40
CPC classification number: H01L21/67115 , B23K26/066 , B23K26/0676 , B23K2101/40 , H01L21/02532 , H01L21/0268 , H01L21/02691 , H01L21/477
Abstract: 本发明涉及一种激光退火装置，向形成在TFT基板(10)上的非晶硅膜照射多个激光束(Lb)而进行退火处理，其具备：掩模(3)，其形成有与TFT基板(10)上的被退火区域的形状相似的形状的多个开口；微型透镜基板(4)，其经由形成在一面上的多个微型透镜使分别通过了掩模(3)的多个开口的多个激光束(Lb)会聚到TFT基板(10)上，从而向非晶硅膜施加一定的光能；一对引导件(25)，它们呈半圆柱状的形状，隔着微型透镜基板(4)以轴心大致平行的方式对置配置在微型透镜基板(4)的两缘部的位置，且顶部比微型透镜的顶部的位置向TFT基板(10)侧突出；薄膜(22)，其以能够移动的方式张设在一对引导件(25)间并使激光束(Lb)透过。由此，容易进行激光束的照射能量的维持管理，且能抑制照射图案的形状紊乱。
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公开(公告)号：CN112384323B
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN201980045262.0
申请日：2019-07-08
Applicant: 株式会社V技术
IPC: B23K26/36 , B23K26/064 , B23K26/082
Abstract: 本发明具备：激光光学系统(1)，其生成线光束(Lb)；荫罩(2)，其配置在上述激光光学系统(1)的光行进方向下游侧，与在掩模用构件(9)上激光加工的多个开口图案对应地设置有多个开口窗；投影透镜(3)，其将上述荫罩(2)的像投影到上述掩模用构件(9)上；移动机构(4)，其使向上述荫罩(2)上照射的上述线光束(Lb)相对于上述荫罩(2)和上述投影透镜(3)相对地在与上述线光束(Lb)的长轴交叉的方向上移动；以及工作台(5)，其载置并保持上述掩模用构件(9)。
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公开(公告)号：CN112384323A
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN201980045262.0
申请日：2019-07-08
Applicant: 株式会社V技术
IPC: B23K26/36 , B23K26/064 , B23K26/082
Abstract: 本发明具备：激光光学系统(1)，其生成线光束(Lb)；荫罩(2)，其配置在上述激光光学系统(1)的光行进方向下游侧，与在掩模用构件(9)上激光加工的多个开口图案对应地设置有多个开口窗；投影透镜(3)，其将上述荫罩(2)的像投影到上述掩模用构件(9)上；移动机构(4)，其使向上述荫罩(2)上照射的上述线光束(Lb)相对于上述荫罩(2)和上述投影透镜(3)相对地在与上述线光束(Lb)的长轴交叉的方向上移动；以及工作台(5)，其载置并保持上述掩模用构件(9)。
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公开(公告)号：CN105051243B
公开(公告)日：2017-06-23
申请号：CN201480014059.4
申请日：2014-02-17
Applicant: 株式会社V技术
IPC: C23C14/04
CPC classification number: B32B38/10 , B32B15/00 , B32B2310/0843 , C23C14/042
Abstract: 本发明是将形成了多个开口图案的金属掩模片(4)张紧而固定于框状的金属框架7上的结构的成膜掩模的制造方法，进行如下步骤：第1步骤，在被施加一定张力的合成纤维的网(1)上粘接金属掩模片(4)的周缘部；第2步骤，将与金属掩模片(4)的内含多个开口图案的大小的成膜有效区域对应的网(1)的部分切除；第3步骤，在金属掩模片(4)的周缘部从与网(1)相反的一侧接合、固定框架(7)；以及第4步骤，将网(1)从金属掩模片(4)除去。
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公开(公告)号：CN105051243A
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201480014059.4
申请日：2014-02-17
Applicant: 株式会社V技术
IPC: C23C14/04
CPC classification number: B32B38/10 , B32B15/00 , B32B2310/0843 , C23C14/042
Abstract: 本发明是将形成了多个开口图案的金属掩模片(4)张紧而固定于框状的金属框架7上的结构的成膜掩模的制造方法，进行如下步骤：第1步骤，在被施加一定张力的合成纤维的网(1)上粘接金属掩模片(4)的周缘部；第2步骤，将与金属掩模片(4)的内含多个开口图案的大小的成膜有效区域对应的网(1)的部分切除；第3步骤，在金属掩模片(4)的周缘部从与网(1)相反的一侧接合、固定框架(7)；以及第4步骤，将网(1)从金属掩模片(4)除去。
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