陶瓷衬板耐疲劳特性的快速测试方法

    公开(公告)号:CN111103209A

    公开(公告)日:2020-05-05

    申请号:CN201811250389.X

    申请日:2018-10-25

    IPC分类号: G01N3/60

    摘要: 本发明涉及一种陶瓷衬板耐疲劳特性的快速测试方法,涉及功率半导体技术领域,用于解决解决现有技术中存在的温度冲击试验中无法近距离观察产品变化的技术问题。本发明的陶瓷衬板耐疲劳特性的快速测试方法,由于加热设备和冷却设备为两个相互独立的设备,因此待测工件的加热和冷却过程互相不会干扰,在待测工件的任何一个操作步骤中,都可以使测试过程暂停,从而近距离地观测其产生的变化,从而能够快速准确地把握待测工件的状态。