公开(公告)号：CN101407904B

公开(公告)日：2010-09-01

申请号：CN200810179368.3

申请日：2008-12-02

申请人： 株洲冶炼集团股份有限公司

发明人： 陈立三 ,  彭晓苏 ,  陈卫飞 ,  李鹏飞 ,  陈军辉 ,  佘旭

IPC分类号： C23C14/08 ,  C23C14/34

摘要： 本发明涉及到采用热等静压法进行ITO靶材的方法，其特征在于，所使用的ITO粉料经过不低于1000℃温度的煅烧，并且在热等静压处理过程中使用石墨纸作为隔离材料，避免靶材与包套反应，方便剥离，提高靶材成材率，适合于工业化生产。压制出的靶材相对密度可达到99％以上。

公开(公告)号：CN108002815B

公开(公告)日：2021-02-02

申请号：CN201711229857.0

申请日：2017-11-29

申请人： 株洲冶炼集团股份有限公司

发明人： 梅方胜 ,  陈立三 ,  彭小苏 ,  赵为上 ,  陈卫飞 ,  佘旭 ,  李文伟

IPC分类号： C23C14/34 ,  C04B35/01 ,  C04B35/622 ,  C04B35/626

摘要： 本发明提供了一种管状ITO靶材的制备方法，该方法包括将ITO粉末装入包套容器，经热等静压处理制备ITO管状靶材，该包套容器包括一个内圆筒包套和一个外圆筒包套，内圆筒包套的壁厚是外圆筒包套壁厚的2倍以上，内圆筒包套的壁厚为3~10mm，外圆筒包套的壁厚为1~3mm。本发明的制备方法，可由ITO废靶经机械破碎后经热等静压法一步成型直接制备为管状ITO靶材，相比传统工艺大大缩短了废靶回收生成精铟再利用制成靶材的周期，节约了生产成本，容易实现规模化生产，生产效率高；此外生产过程中不需使用强酸强碱及有机添加剂，减少了环境污染。

公开(公告)号：CN101407907A

公开(公告)日：2009-04-15

申请号：CN200810179329.3

申请日：2008-11-28

申请人： 株洲冶炼集团股份有限公司

发明人： 陈卫飞 ,  陈立三 ,  彭晓苏 ,  李鹏飞

IPC分类号： C23C14/34

摘要： 本发明涉及一种用于热等静压法制备靶材的包套，包括中空的方柱形包套主体和用于封闭该包套主体的两个密封体，其特征在于：在主体的至少一个侧棱边设有皱边。该皱边数目至少为1个，优选为2个，更优选为4个。其中，该主体是由一块或多块板材经过弯折而后将两端焊接而形成。本发明还涉及采用该包套生产靶材的方法。

公开(公告)号：CN116334551A

公开(公告)日：2023-06-27

申请号：CN202310275887.4

申请日：2023-03-21

申请人： 株洲冶炼集团股份有限公司

发明人： 陈卫飞 ,  佘旭 ,  杨扬 ,  张记东 ,  胡依婕

IPC分类号： C23C14/34 ,  C22C14/00 ,  C22C21/00 ,  B22F3/15 ,  B22F1/052 ,  B22F1/14 ,  B22F1/06 ,  B22F1/065 ,  B22F1/142

摘要： 本发明属于热等静压法粉末冶金技术领域，本发明公开了一种高铝铝钛靶及其制备方法。该靶材中铝的原子占比大于50%，其特点是，靶材由Al和Ti的单质相构成，无合金相，靶材具有极高的强度或韧性，易加工成复杂形状，加工过程中不会发生崩裂或折断。该靶材主要应用于刀具的AlTiN涂层镀膜和装饰镀膜，靶材的制备的主要过程包括粉末的混合、装包套脱气、热等静压、机加工等。

公开(公告)号：CN108002815A

公开(公告)日：2018-05-08

申请号：CN201711229857.0

申请日：2017-11-29

申请人： 株洲冶炼集团股份有限公司

发明人： 梅方胜 ,  陈立三 ,  彭小苏 ,  赵为上 ,  陈卫飞 ,  佘旭 ,  李文伟

IPC分类号： C04B35/01 ,  C04B35/622 ,  C04B35/626

CPC分类号： C04B35/01 ,  C04B35/622 ,  C04B35/62605 ,  C04B2235/3286 ,  C04B2235/3293 ,  C04B2235/66 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/94

摘要： 本发明提供了一种管状ITO靶材的制备方法，该方法包括将ITO粉末装入包套容器，经热等静压处理制备ITO管状靶材，该包套容器包括一个内圆筒包套和一个外圆筒包套，内圆筒包套的壁厚是外圆筒包套壁厚的2倍以上，内圆筒包套的壁厚为3~10mm，外圆筒包套的壁厚为1~3mm。本发明的制备方法，可由ITO废靶经机械破碎后经热等静压法一步成型直接制备为管状ITO靶材，相比传统工艺大大缩短了废靶回收生成精铟再利用制成靶材的周期，节约了生产成本，容易实现规模化生产，生产效率高；此外生产过程中不需使用强酸强碱及有机添加剂，减少了环境污染。

公开(公告)号：CN101407907B

公开(公告)日：2010-09-01

申请号：CN200810179329.3

申请日：2008-11-28

申请人： 株洲冶炼集团股份有限公司

发明人： 陈卫飞 ,  陈立三 ,  彭晓苏 ,  李鹏飞

IPC分类号： C23C14/34

摘要： 本发明涉及一种用于热等静压法制备靶材的包套，包括中空的方柱形包套主体和用于封闭该包套主体的两个密封体，其特征在于：在主体的至少一个侧棱边设有皱边。该皱边数目至少为1个，优选为2个，更优选为4个。其中，该主体是由一块或多块板材经过弯折而后将两端焊接而形成。本发明还涉及采用该包套生产靶材的方法。

公开(公告)号：CN101407904A

公开(公告)日：2009-04-15

申请号：CN200810179368.3

申请日：2008-12-02

申请人： 株洲冶炼集团股份有限公司

发明人： 陈立三 ,  彭晓苏 ,  陈卫飞 ,  李鹏飞 ,  陈军辉 ,  佘旭

IPC分类号： C23C14/08 ,  C23C14/34

摘要： 本发明涉及到采用热等静压法进行ITO靶材的方法，其特征在于，所使用的ITO粉料经过不低于1000℃温度的煅烧，并且在热等静压处理过程中使用石墨纸作为隔离材料，避免靶材与包套反应，方便剥离，提高靶材成材率，适合于工业化生产。压制出的靶材相对密度可达到99％以上。