一种电子枪高压参数测量装置
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    发明公开

    公开(公告)号:CN117528996A

    公开(公告)日:2024-02-06

    申请号:CN202311484422.6

    申请日:2023-11-08

    IPC分类号: H05K7/02 G01R15/14 G01R31/00

    摘要: 本申请提供了一种电子枪高压参数测量装置,属于高压及电流测量设备技术领域,具体包括高压分压器组件和用于采集电子枪的电子束参数的信号采集插箱,高压分压器组件包括高压采样点和高压分压器本体,高压分压器本体的一端为高压分压器高压端,高压分压器本体的另一端为高压分压器低压端,高压采样点通过电子枪高压线分别与电子枪、电子枪电源和高压分压器高压端连接,高压分压器低压端与信号采集插箱连接,信号采集插箱还分别与电子枪电源、电子枪、光阑和坩埚连接。通过本申请的处理方案,解决了电子束高压无法独立直接测量的问题,提高了对电子束参数测量的精确度。