一种长脉冲高功率离子源电极栅冷却水路及真空密封结构

    公开(公告)号:CN106935459B

    公开(公告)日:2019-06-18

    申请号:CN201511028051.6

    申请日:2015-12-31

    IPC分类号: H01J27/02

    摘要: 本发明属于一种高功率强流离子源及中性束注入加热技术领域,具体涉及一种长脉冲高功率离子源电极栅冷却水路及真空密封结构,包括由多层水冷电极栅及其支撑法兰平行组装而成,每层水冷电极板由两块结构相同的水冷电极栅搭接组成,以及布置在支撑法兰内部和水冷电极栅内部的冷却水路,这种水路结构不仅可以瞬时冷却电极,确保电极栅板之间电场分布的均匀一致性,还省略了连接电极与法兰的水管,省略了水管与电极的连接结构,节省了空间,降低了法兰及其整个真空腔体包括绝缘腔的大小,降低了加工成本,尤其适用于结构紧凑型离子源第一电极水路结构。

    一种高功率强流离子源四电极支撑座组件

    公开(公告)号:CN106935458A

    公开(公告)日:2017-07-07

    申请号:CN201511026449.6

    申请日:2015-12-31

    IPC分类号: H01J27/02

    CPC分类号: H01J27/02 H01J27/022

    摘要: 本发明属于一种高功率离子源技术领域,具体涉及一种高功率强流离子源四电极支撑座组件;该组件主要包括四个大尺寸电极法兰,三个带有数条细缝结构的电极支架,三个PEEK绝缘腔。每两个法兰之间有一个绝缘腔,法兰通过O型氟橡胶密封圈与绝缘腔配合构成两端开口的真空密封绝缘腔。该电极栅支撑座组件采用了将四层电极法兰、绝缘腔以及支撑架通过密封圈密封组装之后,再次对四层支撑面进行平行度修正的方法,可以使每层电极支撑面之间的平行度达到0.04mm以内,有效降低了多个工件装配公差,降低了电极间场强的非均匀性;增大了电极系统的抽口面积,降低了电极栅层与层之间的真空度,降低高功率离子源引出期间的电击穿概率。

    一种高功率强流离子源四电极支撑座组件

    公开(公告)号:CN106935458B

    公开(公告)日:2019-02-26

    申请号:CN201511026449.6

    申请日:2015-12-31

    IPC分类号: H01J27/02

    摘要: 本发明属于一种高功率离子源技术领域,具体涉及一种高功率强流离子源四电极支撑座组件;该组件主要包括四个大尺寸电极法兰,三个带有数条细缝结构的电极支架,三个PEEK绝缘腔。每两个法兰之间有一个绝缘腔,法兰通过O型氟橡胶密封圈与绝缘腔配合构成两端开口的真空密封绝缘腔。该电极栅支撑座组件采用了将四层电极法兰、绝缘腔以及支撑架通过密封圈密封组装之后,再次对四层支撑面进行平行度修正的方法,可以使每层电极支撑面之间的平行度达到0.04mm以内,有效降低了多个工件装配公差,降低了电极间场强的非均匀性;增大了电极系统的抽口面积,降低了电极栅层与层之间的真空度,降低高功率离子源引出期间的电击穿概率。

    一种长脉冲高功率离子源电极栅冷却水路及真空密封结构

    公开(公告)号:CN106935459A

    公开(公告)日:2017-07-07

    申请号:CN201511028051.6

    申请日:2015-12-31

    IPC分类号: H01J27/02

    CPC分类号: H01J27/022

    摘要: 本发明属于一种高功率强流离子源及中性束注入加热技术领域,具体涉及一种长脉冲高功率离子源电极栅冷却水路及真空密封结构,包括由多层水冷电极栅及其支撑法兰平行组装而成,每层水冷电极板由两块结构相同的水冷电极栅搭接组成,以及布置在支撑法兰内部和水冷电极栅内部的冷却水路,这种水路结构不仅可以瞬时冷却电极,确保电极栅板之间电场分布的均匀一致性,还省略了连接电极与法兰的水管,省略了水管与电极的连接结构,节省了空间,降低了法兰及其整个真空腔体包括绝缘腔的大小,降低了加工成本,尤其适用于结构紧凑型离子源第一电极水路结构。

    一种高功率强流离子源四电极支撑座组件

    公开(公告)号:CN206422037U

    公开(公告)日:2017-08-18

    申请号:CN201521137446.5

    申请日:2015-12-31

    IPC分类号: H01J27/02

    摘要: 本实用新型属于一种高功率离子源技术领域,具体涉及一种高功率强流离子源四电极支撑座组件;该组件主要包括四个大尺寸电极法兰,三个带有数条细缝结构的电极支架,三个PEEK绝缘腔。每两个法兰之间有一个绝缘腔,法兰通过O型氟橡胶密封圈与绝缘腔配合构成两端开口的真空密封绝缘腔。该电极栅支撑座组件采用了将四层电极法兰、绝缘腔以及支撑架通过密封圈密封组装之后,再次对四层支撑面进行平行度修正的方法,可以使每层电极支撑面之间的平行度达到0.04mm以内,有效降低了多个工件装配公差,降低了电极间场强的非均匀性;增大了电极系统的抽口面积,降低了电极栅层与层之间的真空度,降低高功率离子源引出期间的电击穿概率。

    一种长脉冲高功率离子源电极栅冷却水路及真空密封结构

    公开(公告)号:CN205452229U

    公开(公告)日:2016-08-10

    申请号:CN201521129865.4

    申请日:2015-12-30

    IPC分类号: H01J27/02

    摘要: 本实用新型属于一种高功率强流离子源及中性束注入加热技术领域,具体涉及一种长脉冲高功率离子源电极栅冷却水路及真空密封结构,包括由多层水冷电极栅及其支撑法兰平行组装而成,每层水冷电极板由两块结构相同的水冷电极栅搭接组成,以及布置在支撑法兰内部和水冷电极栅内部的冷却水路,这种水路结构不仅可以瞬时冷却电极,确保电极栅板之间电场分布的均匀一致性,还省略了连接电极与法兰的水管,省略了水管与电极的连接结构,节省了空间,降低了法兰及其整个真空腔体包括绝缘腔的大小,降低了加工成本,尤其适用于结构紧凑型离子源第一电极水路结构。