-
公开(公告)号:CN106935459B
公开(公告)日:2019-06-18
申请号:CN201511028051.6
申请日:2015-12-31
申请人: 核工业西南物理研究院 , 北京利方达真空技术有限责任公司
IPC分类号: H01J27/02
摘要: 本发明属于一种高功率强流离子源及中性束注入加热技术领域,具体涉及一种长脉冲高功率离子源电极栅冷却水路及真空密封结构,包括由多层水冷电极栅及其支撑法兰平行组装而成,每层水冷电极板由两块结构相同的水冷电极栅搭接组成,以及布置在支撑法兰内部和水冷电极栅内部的冷却水路,这种水路结构不仅可以瞬时冷却电极,确保电极栅板之间电场分布的均匀一致性,还省略了连接电极与法兰的水管,省略了水管与电极的连接结构,节省了空间,降低了法兰及其整个真空腔体包括绝缘腔的大小,降低了加工成本,尤其适用于结构紧凑型离子源第一电极水路结构。
-
公开(公告)号:CN117806017A
公开(公告)日:2024-04-02
申请号:CN202311718318.9
申请日:2023-12-14
申请人: 核工业西南物理研究院
摘要: 本发明公开了一种用于光增强的四腔镜大光斑光阱,涉及光阱领域,该光阱包括:平面入射镜、第一球面反射镜、第二球面反射镜和球面入射镜,其中:所述平面入射镜和所述第一球面反射镜用于形成第一光路,所述第一球面反射镜和所述第二球面反射镜用于形成第二光路,所述第二球面反射镜和所述球面入射镜用于形成第三光路,所述第一光路与所述第二光路垂直,所述第二光路与所述第三光路垂直;所述平面入射镜和所述球面入射镜均镀有高反射膜,所述第一球面反射镜和所述第二球面反射镜均镀有全反射膜,实现在米量级的空间内实现有效直径≥20mm的大光斑,以及大于4MW/cm2量级的高光功率密度的光场。
-
公开(公告)号:CN106935458A
公开(公告)日:2017-07-07
申请号:CN201511026449.6
申请日:2015-12-31
申请人: 核工业西南物理研究院
IPC分类号: H01J27/02
CPC分类号: H01J27/02 , H01J27/022
摘要: 本发明属于一种高功率离子源技术领域,具体涉及一种高功率强流离子源四电极支撑座组件;该组件主要包括四个大尺寸电极法兰,三个带有数条细缝结构的电极支架,三个PEEK绝缘腔。每两个法兰之间有一个绝缘腔,法兰通过O型氟橡胶密封圈与绝缘腔配合构成两端开口的真空密封绝缘腔。该电极栅支撑座组件采用了将四层电极法兰、绝缘腔以及支撑架通过密封圈密封组装之后,再次对四层支撑面进行平行度修正的方法,可以使每层电极支撑面之间的平行度达到0.04mm以内,有效降低了多个工件装配公差,降低了电极间场强的非均匀性;增大了电极系统的抽口面积,降低了电极栅层与层之间的真空度,降低高功率离子源引出期间的电击穿概率。
-
公开(公告)号:CN106935458B
公开(公告)日:2019-02-26
申请号:CN201511026449.6
申请日:2015-12-31
申请人: 核工业西南物理研究院
IPC分类号: H01J27/02
摘要: 本发明属于一种高功率离子源技术领域,具体涉及一种高功率强流离子源四电极支撑座组件;该组件主要包括四个大尺寸电极法兰,三个带有数条细缝结构的电极支架,三个PEEK绝缘腔。每两个法兰之间有一个绝缘腔,法兰通过O型氟橡胶密封圈与绝缘腔配合构成两端开口的真空密封绝缘腔。该电极栅支撑座组件采用了将四层电极法兰、绝缘腔以及支撑架通过密封圈密封组装之后,再次对四层支撑面进行平行度修正的方法,可以使每层电极支撑面之间的平行度达到0.04mm以内,有效降低了多个工件装配公差,降低了电极间场强的非均匀性;增大了电极系统的抽口面积,降低了电极栅层与层之间的真空度,降低高功率离子源引出期间的电击穿概率。
-
公开(公告)号:CN106935459A
公开(公告)日:2017-07-07
申请号:CN201511028051.6
申请日:2015-12-31
申请人: 核工业西南物理研究院 , 北京利方达真空技术有限责任公司
IPC分类号: H01J27/02
CPC分类号: H01J27/022
摘要: 本发明属于一种高功率强流离子源及中性束注入加热技术领域,具体涉及一种长脉冲高功率离子源电极栅冷却水路及真空密封结构,包括由多层水冷电极栅及其支撑法兰平行组装而成,每层水冷电极板由两块结构相同的水冷电极栅搭接组成,以及布置在支撑法兰内部和水冷电极栅内部的冷却水路,这种水路结构不仅可以瞬时冷却电极,确保电极栅板之间电场分布的均匀一致性,还省略了连接电极与法兰的水管,省略了水管与电极的连接结构,节省了空间,降低了法兰及其整个真空腔体包括绝缘腔的大小,降低了加工成本,尤其适用于结构紧凑型离子源第一电极水路结构。
-
公开(公告)号:CN206422037U
公开(公告)日:2017-08-18
申请号:CN201521137446.5
申请日:2015-12-31
申请人: 核工业西南物理研究院
IPC分类号: H01J27/02
摘要: 本实用新型属于一种高功率离子源技术领域,具体涉及一种高功率强流离子源四电极支撑座组件;该组件主要包括四个大尺寸电极法兰,三个带有数条细缝结构的电极支架,三个PEEK绝缘腔。每两个法兰之间有一个绝缘腔,法兰通过O型氟橡胶密封圈与绝缘腔配合构成两端开口的真空密封绝缘腔。该电极栅支撑座组件采用了将四层电极法兰、绝缘腔以及支撑架通过密封圈密封组装之后,再次对四层支撑面进行平行度修正的方法,可以使每层电极支撑面之间的平行度达到0.04mm以内,有效降低了多个工件装配公差,降低了电极间场强的非均匀性;增大了电极系统的抽口面积,降低了电极栅层与层之间的真空度,降低高功率离子源引出期间的电击穿概率。
-
公开(公告)号:CN205452229U
公开(公告)日:2016-08-10
申请号:CN201521129865.4
申请日:2015-12-30
申请人: 核工业西南物理研究院 , 北京利方达真空技术有限公司
IPC分类号: H01J27/02
摘要: 本实用新型属于一种高功率强流离子源及中性束注入加热技术领域,具体涉及一种长脉冲高功率离子源电极栅冷却水路及真空密封结构,包括由多层水冷电极栅及其支撑法兰平行组装而成,每层水冷电极板由两块结构相同的水冷电极栅搭接组成,以及布置在支撑法兰内部和水冷电极栅内部的冷却水路,这种水路结构不仅可以瞬时冷却电极,确保电极栅板之间电场分布的均匀一致性,还省略了连接电极与法兰的水管,省略了水管与电极的连接结构,节省了空间,降低了法兰及其整个真空腔体包括绝缘腔的大小,降低了加工成本,尤其适用于结构紧凑型离子源第一电极水路结构。
-
-
-
-
-
-