公开(公告)号：CN104662417B

公开(公告)日：2017-07-11

申请号：CN201380049421.7

申请日：2013-09-20

申请人： 史密斯探测-沃特福特有限公司

发明人： M·伊斯顿 ,  S·泰勒 ,  B·格兰特 ,  H·麦金太尔 ,  A·克拉克

IPC分类号： G01N27/62 ,  H01J49/16

CPC分类号： G01N27/622 ,  H01J27/022 ,  H01J49/16 ,  H01J49/168

摘要： 描述了用于清洁电晕放电点的系统和技术。控制器(150)可操作地耦合到电晕放电点(108)以控制电晕放电点(108)的操作。控制器(150)和电晕放电点(108)可以包括在例如离子迁移谱(IMS)系统(100)中。控制器(150)可以用于针对第一时间间隔以操作电压操作电晕放电点(108)，使用或不使用额外更高的脉冲电压，以产生电晕放电，以及针对跟随第一时间间隔的第二时间间隔以比操作电压更大的清洁电压操作电晕放电点(108)以产生电晕放电。例如可以通过测量在电晕放电点(108)产生电晕放电的必要电压、测量来自电晕放电的在电晕放电点(108)产生的电流等来监控电晕放电点(108)的有效性。

公开(公告)号：CN106935458A

公开(公告)日：2017-07-07

申请号：CN201511026449.6

申请日：2015-12-31

申请人： 核工业西南物理研究院

发明人： 邹桂清 ,  曹建勇 ,  周博文 ,  余珮炫 ,  魏会领 ,  周红霞

IPC分类号： H01J27/02

CPC分类号： H01J27/02 ,  H01J27/022

摘要： 本发明属于一种高功率离子源技术领域，具体涉及一种高功率强流离子源四电极支撑座组件；该组件主要包括四个大尺寸电极法兰，三个带有数条细缝结构的电极支架，三个PEEK绝缘腔。每两个法兰之间有一个绝缘腔，法兰通过O型氟橡胶密封圈与绝缘腔配合构成两端开口的真空密封绝缘腔。该电极栅支撑座组件采用了将四层电极法兰、绝缘腔以及支撑架通过密封圈密封组装之后，再次对四层支撑面进行平行度修正的方法，可以使每层电极支撑面之间的平行度达到0.04mm以内，有效降低了多个工件装配公差，降低了电极间场强的非均匀性；增大了电极系统的抽口面积，降低了电极栅层与层之间的真空度，降低高功率离子源引出期间的电击穿概率。

公开(公告)号：CN101946300B

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN200980104780.1

申请日：2009-02-11

申请人： 普度研究基金会

发明人： 欧阳证 ,  积逊·哈珀 ,  尼古拉斯·查理珀 ,  罗伯特·库克斯

IPC分类号： H01J49/00

CPC分类号： H01J37/32009 ,  H01J27/022 ,  H01J37/00 ,  H01J37/32348 ,  H01J49/02 ,  H01J49/105 ,  H01J49/142 ,  H01J2237/0044 ,  H05H1/24 ,  H05H1/2406 ,  H05H1/30 ,  H05H2001/2412 ,  H05H2001/2443 ,  H05H2240/10 ,  H05H2240/20 ,  Y10T436/145555 ,  Y10T436/147777 ,  Y10T436/173076 ,  Y10T436/203332 ,  Y10T436/24

摘要： 本发明总体涉及用于解吸并电离样品材料中的至少一种分析物的低温等离子体探针及其使用方法。在一个实施方案中，本发明总体涉及一种低温等离子体探针，其包括：具有放电气体入口的外壳、探针针尖、两个电极、以及电介质阻挡层，其中所述两个电极被所述电介质阻挡层分隔开，并且其中由电源施加的电压形成低温等离子体，并且其中通过电场和/或放电气流将所述低温等离子体驱出放电区域。

公开(公告)号：CN103069674B

公开(公告)日：2015-07-22

申请号：CN201180039419.2

申请日：2011-07-12

申请人： 夏普株式会社

发明人： 世古口美德 ,  菅野三奈子 ,  岩下安広

IPC分类号： H01T23/00 ,  H01T19/04

CPC分类号： H01J27/022 ,  H01T23/00

摘要： 本发明提供离子产生装置和使用该离子产生装置的电气设备，在所述离子产生装置的外壳（1）内，变压器驱动电路的配置区域、高压变压器（11）的配置区域和离子产生元件的配置区域在平面上相互分开。连接端子（10）由导电性膜构成，该连接端子与变压器驱动电路电连接且配置成露出到外壳（1）的外侧。由此，能够容易地实现小型化、薄型化。

公开(公告)号：CN104752127A

公开(公告)日：2015-07-01

申请号：CN201410822189.2

申请日：2014-12-25

申请人： 斯伊恩股份有限公司

发明人： 佐藤正辉

IPC分类号： H01J37/02 ,  H01J37/317

CPC分类号： H01J27/08 ,  H01J27/022 ,  H01J37/08 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/061 ,  H01J2237/082

摘要： 本发明提供一种能够减少反射极的绝缘性降低的支承结构及离子发生装置。离子发生装置(10)具备：电弧室(12)；反射极(62)，具有设置于电弧室内的反射板(64)、及插通于连通电弧室(12)内外的贯穿孔(60)的反射极延长部(66)；以及支承结构(70)，设置于电弧室(12)的外侧，并以确保反射极延长部(66)与贯穿孔(60)的内壁之间的间隙(60a)的方式支承反射极。支承结构(70)具有：罩部件(80)，在电弧室(12)的外部划分与间隙(60a)连通的小室(88)；以及绝缘部件(72)，将电弧室(12)与反射极(62)之间电绝缘。

公开(公告)号：CN104715986A

公开(公告)日：2015-06-17

申请号：CN201310675656.9

申请日：2013-12-11

申请人： 中国航空工业第六一八研究所

发明人： 苏宇 ,  刘希强 ,  任旭升 ,  张爱民 ,  王涛

IPC分类号： H01J27/02

CPC分类号： H01J27/022

摘要： 本发明属于离子源技术，涉及一种悬浮式多爪栅极的注塞式绝缘紧固结构及装配方法。本发明中栅极表面具有蜂窝排布的小孔，栅极的外围为圆对称的悬浮式多爪结构，三片栅极间依靠这些悬浮爪进行紧固，采用螺杆贯穿式紧固结构固定三片栅极的每个爪，栅极之间采用凹型绝缘陶瓷和凸型绝缘陶瓷配合支撑，并可以使用金属薄垫片进行三片栅极间的间距调节。本发明通过对悬浮爪的调节，在保证栅极间距一致性的同时，降低了对三片栅极面形一致性的要求，两种类型陶瓷的配合使用提高了栅极间绝缘度，保障高温工作条件下大束压、大束流离子束的稳定引出。

公开(公告)号：CN104220760A

公开(公告)日：2014-12-17

申请号：CN201380014873.1

申请日：2013-04-02

申请人： 夏普株式会社

发明人： 柴田将贵 ,  白石贤一 ,  岩城伸浩

IPC分类号： F04D29/44 ,  A61L9/22 ,  F04D25/08 ,  F24F11/02 ,  H01T23/00 ,  H04Q9/00 ,  H05K5/02

CPC分类号： A61L9/22 ,  A61L2209/11 ,  F04D17/16 ,  F04D25/08 ,  F04D29/4226 ,  F04D29/462 ,  F04D29/624 ,  F04D29/626 ,  F05D2250/52 ,  F24F3/166 ,  F24F7/007 ,  F24F2003/1682 ,  H01J27/022 ,  H01T23/00

摘要： 一种送风装置，具有：送风通路(20)，其配置在主体箱体(2)内而使吸入口(4)与吹出口(5)连通并且具有被隔板(21)分割的多个分割通路(22)；以及内罩(10)，其覆盖分割通路(22)并由内面形成送风通路(20)的侧壁并可装拆，内罩(10)在外表面具有沿着隔板(21)形成的标记部(11)。一种遥控器保持结构，具备：单一的插入口，其在主体箱体(2)的外装开口形成而使遥控器和人的手指能同时插入；以及保持孔，其从上述插入口朝向上述主体箱体的内部延伸，在上部具有从上述插入口向横向或斜上方延伸而当搬运上述主体箱体时人的手指抠住的抠手部。一种离子送出装置，具备：离子发生装置(40)，其具有对在送风管道内流通的气流释放离子的离子发生部；以及支架(50)，其可装拆地保持上述离子发生装置(40)，将上述支架(50)设为能转动。

公开(公告)号：CN104040675A

公开(公告)日：2014-09-10

申请号：CN201280058733.X

申请日：2012-09-27

申请人： 氮化物处理股份有限公司

发明人： D.布罗尔斯 ,  R.E.德马雷 ,  D.斯卢茨

IPC分类号： H01J37/08 ,  H01J37/317 ,  H01J27/02 ,  C23C14/32 ,  C23C16/452

CPC分类号： H01L21/0262 ,  C23C14/0617 ,  C23C14/32 ,  C30B23/066 ,  C30B29/403 ,  F27B14/10 ,  F27B2014/104 ,  H01J27/022 ,  H01J27/04 ,  H01J37/08 ,  H01J37/3178 ,  H01L21/02444 ,  Y10T428/31504

摘要： 公开了用于产生例如氮化物之类的材料的PVD和HPHT方法和装置。

公开(公告)号：CN102232241B

公开(公告)日：2014-05-14

申请号：CN200980148112.9

申请日：2009-12-03

申请人： 瓦里安半导体设备公司

发明人： 具本雄 ,  维克多·M·本夫尼斯特 ,  克里斯多福·A·罗兰德 ,  奎格·R·钱尼 ,  法兰克·辛克莱 ,  奈尔·J·巴森

IPC分类号： H01L21/265

CPC分类号： H01J27/022 ,  H01J37/08 ,  H01J37/3171 ,  H01J37/32357 ,  H01J37/32412 ,  H01J37/32422 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/061 ,  H01J2237/0815 ,  H01J2237/24514

摘要： 一种利用受激及/或原子气体注入的离子源。在离子束应用中，可直接使用来源气体，如同已知的供应。另一方面或除此之外，来源气体可在引导至离子源处理室前藉由通过远端等离子源予以变换。这可用以产生受激中性粒子、重离子、亚稳态分子或多价离子。另一实施例中，使用多样的气体，其中一或多种气体通过远端等离子产生器。在某些实施例中，气体在供应给离子源处理室前于单一等离子产生器中予以组合。在等离子浸没应用中，等离子经由一或多个额外气体注入位置注入处理室。这些注入位置容许流入处理室外部的远端等离子源所产生的额外等离子。

公开(公告)号：CN1302511C

公开(公告)日：2007-02-28

申请号：CN200310116534.2

申请日：2003-11-14

申请人： 日新意旺机械股份公司

发明人： 岩泽康司

IPC分类号： H01J37/08 ,  H01J37/317 ,  H01L21/265 ,  G01R27/00

CPC分类号： H01J27/022 ,  H01J37/08 ,  H01J37/242

摘要： 一种离子源装置，包括：具有用于发射热电子的灯丝的离子源；用于测量流过该灯丝的电流的电流测量装置；用于测量灯丝上的电压的电压测量装置；用于通过使用由所述电流和电压测量装置测量的电流和电压来计算灯丝电阻值的电阻运算装置；和用于计算直到灯丝应用极限为止时的时间或者直到灯丝应用极限为止时剩余的时间的预知运算装置。