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公开(公告)号：CN117433675A
公开(公告)日：2024-01-23
申请号：CN202311383755.X
申请日：2023-10-24
申请人： 松诺盟科技有限公司 , 核电运行研究(上海)有限公司
IPC分类号： G01L1/22
摘要： 本发明公开了一种纳米薄膜电阻应变式双膜片差压传感器及变送器，属于传感器技术领域，包括高压感应室、低压感应室以及连接环。高压感应室的内部形成高压腔，高压感应室的一端设置有高压弹性膜片，高压弹性膜片远离高压腔的一侧设置有桥臂。低压感应室的内部形成低压腔，低压腔的一端设置有低压弹性膜片。高压弹性膜片、低压弹性膜片以及连接环之间形成密闭的腔体并填充有传导液。采用高压弹性膜片和低压弹性膜片的双弹性膜片加桥臂的结构，内部通过传导液传导低压侧的压力，由此测量压差，并能够对两侧压差起到放大作用，提高感应精度。镀膜桥臂芯体与被测流体隔离，便于封装，更利于测带腐蚀性的流体。
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公开(公告)号：CN117433676A
公开(公告)日：2024-01-23
申请号：CN202311383797.3
申请日：2023-10-24
申请人： 松诺盟科技有限公司 , 核电运行研究(上海)有限公司
IPC分类号： G01L1/22
摘要： 本发明公开了一种压力传感器芯体及其应用，涉及传感器技术领域；该压力传感器芯体，包括：桥臂；桥臂的一侧设置有若干桥墩和若干桥洞；桥洞的截面为类梯形；类梯形的底角为30°～80°；桥臂的另一侧还设置有光刻电路和若干应变电阻；若干应变电阻形成惠斯通电桥；敏感电阻与桥洞对应设置。本发明的压力传感器包括弹膜腔体和桥臂结构，弹膜腔体与流体接触后，将流体压力转化为弹性膜片的微小弹性变形；而桥臂将弹性膜片的微小变形进行集中应力放大，从而实现1MPa以下小量程压力的测试。
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公开(公告)号：CN117387823A
公开(公告)日：2024-01-12
申请号：CN202311383754.5
申请日：2023-10-24
申请人： 核电运行研究(上海)有限公司 , 松诺盟科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种纳米薄膜电阻应变式单膜片压力变送器，包括高压腔体、弹性膜片、低压腔体、条形桥臂以及连接环，条形桥臂上镀有纳米薄膜层且在纳米薄膜层上光刻有敏感电阻和光刻电路，敏感电阻和光刻电路组成惠斯通全桥式电路，采用纳米镀膜及光刻敏感电阻技术，以及单弹性膜片加桥臂测量差压的这种结构可以使精度达到0.05％FS，最高使用温度可达400℃，量程从5kPa‑250MPa均可实现，具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN117433674A
公开(公告)日：2024-01-23
申请号：CN202311383753.0
申请日：2023-10-24
申请人： 松诺盟科技有限公司 , 核电运行研究(上海)有限公司
IPC分类号： G01L1/22
摘要： 本发明公开了一种纳米薄膜电阻应变式介质隔离差压传感器及变送器，属于传感器技术领域，包括高压感应室、低压感应室以及连接环。高压感应室的一端设置有弹性膜片且另一端设置有高压侧隔离膜片，高压感应室的内部形成第一油腔并填充有硅油，弹性膜片上设置有桥臂。低压感应室的一端设置有低压侧隔离膜片。弹性膜片、低压感应室以及低压侧隔离膜片之间形成第二油腔并填充有硅油。传感器内部的镀膜桥臂芯体和弹性膜片被两侧的第一油腔和第二油腔内的硅油所包覆，使得桥臂及弹性膜片均与被测流体隔离，能较好地保护桥臂和弹性膜片，便于封装，更利于检测带腐蚀性的流体。
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公开(公告)号：CN112798151B
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202110114546.X
申请日：2021-01-26
申请人： 松诺盟科技有限公司
IPC分类号： G01L1/04
摘要： 本发明涉及一种扭矩传感器力臂结构及扭矩传感器。扭矩传感器力臂结构包括外圈、连接件及至少两个力臂。外圈具有第一连接位。连接件位于外圈内，并与外圈同轴设置。连接件上具有第二连接位。每个力臂的两端分别与外圈的内壁及连接件固定连接。每个力臂上设置有用于检测对应力臂上的应变信息的应变栅。载荷输入点在第一连接位处或第二连接位处。载荷输入点在第一连接位处时，载荷由第一连接位向力臂设置有应变栅的部位传导的传导路径呈非直线形。载荷输入点在第二连接位处时，载荷由第二连接位向力臂设置有应变栅的部位传导的传导路径呈非直线形。扭矩传感器力臂结构的设置，使得扭矩传感器在具有较小体积的同时，还兼顾较高的测量灵敏度。
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公开(公告)号：CN116793210A
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN202310975026.7
申请日：2023-08-04
申请人： 松诺盟科技有限公司
IPC分类号： G01B7/16 , G01L9/04 , G01L13/06 , C23C14/35 , C22C5/04 , C23C14/02 , C23C14/08 , C23C14/16 , G21C17/00
摘要： 本发明公开了一种纳米复合薄膜、应变传感器及其应用，涉及传感器技术领域；该纳米复合薄膜包括基底层，所述基底层表面设有过渡层；过渡层表面设有绝缘层；绝缘层的部分表面设有应变层；绝缘层的剩余部分表面设有保护层；应变层的部分表面设有焊盘；应变层的剩余部分表面设有保护层；应变层由PtW层和PdCrWAl层组成。本发明中应变层为复合应变层，其中PtW层的抗氧化性好；而PdCrWAl层的结构稳定性好，通过两者之间的搭配，从而大大提升了应变层的抗氧化性和稳定性，从而能够适用于各种工况环境，具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN114370968A
公开(公告)日：2022-04-19
申请号：CN202210002042.3
申请日：2022-01-04
申请人： 松诺盟科技有限公司
IPC分类号： G01L5/1627 , G01L3/10
摘要： 本发明涉及一种多维力、扭矩传感器力臂结构及多维力、扭矩传感器。多维力、扭矩传感器力臂结构包括外圈、内圈及至少两个应变梁。内圈位于外圈内，并与外圈同轴设置。至少两个应变梁沿内圈的周向均匀间隔设置。每个应变梁包括相互交叉设置的主梁及副梁。副梁的两端均与外圈的内壁连接。主梁的两端分别与副梁的中部位置及内圈的外壁连接。主梁上设置有第一应变片。副梁上间隔设置有第二应变片及第三应变片。第一应变片及第二应变片分别位于主梁的两侧。第一应变片、第二应变片及第三应变片均位于内圈的同一侧。在多维力、扭矩传感器力臂结构中，可一次性完成所有第一应变片、第二应变片及第三应变片的制作，提高了多维力、扭矩传感器的加工效率。
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公开(公告)号：CN113008399A
公开(公告)日：2021-06-22
申请号：CN202110103857.6
申请日：2021-01-26
申请人： 松诺盟科技有限公司
摘要： 本发明涉及一种高温耐腐蚀热电偶及其加工方法。高温耐腐蚀热电偶包括接线盒结构、绝缘保护壳及热偶丝结构。绝缘保护壳为一端具有开口的中空结构。绝缘保护壳具有开口的一端与接线盒结构连接。热偶丝结构内置于绝缘保护壳内。热偶丝结构的两个参考端均伸入至接线盒结构内，并与接线盒结构电连接。热偶丝结构包括贵金属热偶丝及溅射沉积在贵金属热偶丝上的原子级保护膜。原子级保护膜的耐高温性能及耐腐蚀性能均优于贵金属热偶丝。因此，上述热偶丝结构的设置，使得高温耐腐蚀热电偶的使用寿命更长。
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公开(公告)号：CN112798151A
公开(公告)日：2021-05-14
申请号：CN202110114546.X
申请日：2021-01-26
申请人： 松诺盟科技有限公司
IPC分类号： G01L1/04
摘要： 本发明涉及一种扭矩传感器力臂结构及扭矩传感器。扭矩传感器力臂结构包括外圈、连接件及至少两个力臂。外圈具有第一连接位。连接件位于外圈内，并与外圈同轴设置。连接件上具有第二连接位。每个力臂的两端分别与外圈的内壁及连接件固定连接。每个力臂上设置有用于检测对应力臂上的应变信息的应变栅。载荷输入点在第一连接位处或第二连接位处。载荷输入点在第一连接位处时，载荷由第一连接位向力臂设置有应变栅的部位传导的传导路径呈非直线形。载荷输入点在第二连接位处时，载荷由第二连接位向力臂设置有应变栅的部位传导的传导路径呈非直线形。扭矩传感器力臂结构的设置，使得扭矩传感器在具有较小体积的同时，还兼顾较高的测量灵敏度。
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公开(公告)号：CN116793210B
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202310975026.7
申请日：2023-08-04
申请人： 松诺盟科技有限公司
IPC分类号： G01B7/16 , G01L9/04 , G01L13/06 , C23C14/35 , C22C5/04 , C23C14/02 , C23C14/08 , C23C14/16 , G21C17/00
摘要： 本发明公开了一种纳米复合薄膜、应变传感器及其应用，涉及传感器技术领域；该纳米复合薄膜包括基底层，所述基底层表面设有过渡层；过渡层表面设有绝缘层；绝缘层的部分表面设有应变层；绝缘层的剩余部分表面设有保护层；应变层的部分表面设有焊盘；应变层的剩余部分表面设有保护层；应变层由PtW层和PdCrWAl层组成。本发明中应变层为复合应变层，其中PtW层的抗氧化性好；而PdCrWAl层的结构稳定性好，通过两者之间的搭配，从而大大提升了应变层的抗氧化性和稳定性，从而能够适用于各种工况环境，具有广阔的应用前景。
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