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公开(公告)号：CN118817145A
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202411259378.3
申请日：2024-09-10
申请人： 核电运行研究(上海)有限公司 , 松诺盟科技有限公司
摘要： 本发明属于传感器技术领域，具体涉及一种纳米薄膜压力测量传感器。包括由上自下设置的输出座、连接罩、芯体总成、芯体安装座及引压底座，输出座和连接罩连接，连接罩内部为空腔结构，连接罩内部的空腔结构设有芯体总成，连接罩的下部和芯体安装座连接，芯体安装座及引压底座连接。本发明的有益效果在于：可应用于高精度变送器的设计与制造，有效规避了法兰夹持式取压结构对传感器芯体的外部应力和损伤影响，提高了传感器芯体的稳定性和可靠性。
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公开(公告)号：CN116202663B
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202310089392.2
申请日：2023-02-09
申请人： 松诺盟科技有限公司
IPC分类号： G01L1/22 , C23C14/08 , C23C14/18 , C23C14/35 , C23C14/02 , C22C19/05 , B82Y40/00 , B82Y30/00
摘要： 本发明公开了一种纳米薄膜压力传感器及其制备方法与应用，涉及传感器技术领域；该传感器包括：钢杯膜片；钢杯膜片上设有芯体；芯体依次包括：过渡层、绝缘层、应变电阻层和保护层；芯体分区设置包括内电阻区、外电阻区和焊盘区；内电阻区由R1、R2、R3和R4组成；R1和R2串联形成第一桥臂；R3和R4串联形成第二桥臂；外电阻区由R5、R6、R7和R8组成；R5和R6串联形成第三桥臂；R7和R8串联形成第四桥臂；本发明中通过设置内电阻区和外电阻区，并采用串联电阻组形成桥臂，利用串联电阻组中电阻相互补偿，从而提升压力传感器的工作稳定性。
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公开(公告)号：CN117433676A
公开(公告)日：2024-01-23
申请号：CN202311383797.3
申请日：2023-10-24
申请人： 松诺盟科技有限公司 , 核电运行研究(上海)有限公司
IPC分类号： G01L1/22
摘要： 本发明公开了一种压力传感器芯体及其应用，涉及传感器技术领域；该压力传感器芯体，包括：桥臂；桥臂的一侧设置有若干桥墩和若干桥洞；桥洞的截面为类梯形；类梯形的底角为30°～80°；桥臂的另一侧还设置有光刻电路和若干应变电阻；若干应变电阻形成惠斯通电桥；敏感电阻与桥洞对应设置。本发明的压力传感器包括弹膜腔体和桥臂结构，弹膜腔体与流体接触后，将流体压力转化为弹性膜片的微小弹性变形；而桥臂将弹性膜片的微小变形进行集中应力放大，从而实现1MPa以下小量程压力的测试。
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公开(公告)号：CN117387823A
公开(公告)日：2024-01-12
申请号：CN202311383754.5
申请日：2023-10-24
申请人： 核电运行研究(上海)有限公司 , 松诺盟科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种纳米薄膜电阻应变式单膜片压力变送器，包括高压腔体、弹性膜片、低压腔体、条形桥臂以及连接环，条形桥臂上镀有纳米薄膜层且在纳米薄膜层上光刻有敏感电阻和光刻电路，敏感电阻和光刻电路组成惠斯通全桥式电路，采用纳米镀膜及光刻敏感电阻技术，以及单弹性膜片加桥臂测量差压的这种结构可以使精度达到0.05％FS，最高使用温度可达400℃，量程从5kPa‑250MPa均可实现，具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN116749666B
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN202311063318.X
申请日：2023-08-23
申请人： 松诺盟科技有限公司
摘要： 本发明提出了一种应变敏感电阻图形制作方法、设备及存储介质，涉及传感器技术领域。该方法步骤包括：获取液态状的应变电阻靶材，并将其装入设置在三坐标移动设备上点胶机内；应变电阻靶材材料包括金属微滴和硅胶，硅胶与金属微滴的质量比为3：2，金属微滴按质量百分数计包括47%Ni、47%Cr、3.5%ZrO2、1.6%Pt、0.2%W和0.7%Si；获取打印面以及打印面上的指定打印区域的信息；根据打印面、指定打印区域信息和预设电阻图形样式生成相应的运行制作指令；三坐标移动设备根据运行制作指令控制点胶机进行电阻图形制作。其能够解决薄膜电阻不能成形在曲面上的问题，简化了工艺，降低成本，实现智能自动化打印。
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公开(公告)号：CN107631833B
公开(公告)日：2023-11-03
申请号：CN201710961318.X
申请日：2017-10-17
申请人： 松诺盟科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种超高温压力传感器及其制造方法，包括带有散热片的引压件，导压件，散热环，外壳组成，其特征在于：所述导压件是一种上部中心位置开有上部中心引压孔，下部中心位置开有与上部中心引压孔不贯通的下部中心引压孔，中部外周开有导压槽，下部开有与下部中心引压孔和导压槽贯通的下导压孔，上部开有与上部中心引压孔和导压槽贯通的上导压孔的圆柱体。由于采用了散热片和散热环两级散热结构，介质温度总体降温至原温度的25％左右。这样适用高温的溅射薄膜压力芯体可以很好地进行不高于600℃高温介质的压力测量，同时保留溅射薄膜压力传感器的体积小、测量精度高、稳定性好等优点，可以很好地应用在超高温介质压力测量领域。
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公开(公告)号：CN115533467B
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202211545229.4
申请日：2022-12-05
申请人： 松诺盟科技有限公司
摘要： 本发明提出了一种应变梁制造方法，涉及传感器领域。包括加工凹槽、研磨抛光、光刻电桥、分隔应变梁和将应变梁与弹性体结合的制作步骤；使用该方法制作的应变梁缩短了加工周期，减少了废料的产生，提升了成品率，有利于批量生产。此外本发明还提出一种压力传感器，包括由上述方法制得的应变梁，能够实现和上述同等的有益效果。
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公开(公告)号：CN115533467A
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202211545229.4
申请日：2022-12-05
申请人： 松诺盟科技有限公司
摘要： 本发明提出了一种应变梁制造方法，涉及传感器领域。包括加工凹槽、研磨抛光、光刻电桥、分隔应变梁和将应变梁与弹性体结合的制作步骤；使用该方法制作的应变梁缩短了加工周期，减少了废料的产生，提升了成品率，有利于批量生产。此外本发明还提出一种压力传感器，包括由上述方法制得的应变梁，能够实现和上述同等的有益效果。
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公开(公告)号：CN113097051A
公开(公告)日：2021-07-09
申请号：CN202110231010.6
申请日：2021-03-02
申请人： 松诺盟科技有限公司
摘要： 本发明涉及一种传感器芯体元件的制备方法。传感器芯体元件的制备方法包括步骤：提供一敏感弹性体，敏感弹性体包括弹性基体及制作于弹性基体上的敏感电路；对敏感弹性体进行均胶、曝光、显影、竖膜、蚀刻等处理，以得到传感器芯体；对传感器芯体进行二氧化硅镀膜，以在传感器芯体表面形成保护膜；利用二价酸酯溶剂去除传感器芯体焊盘位上的光刻胶及附着于光刻胶上的二氧化硅，以得到芯体元件；对芯体元件进行清洗处理；对清洗后的芯体元件进行烘干处理。上述方法的使用，在芯体元件的制备过程中可避免使用剧毒且环境极不友好的氢氟酸、氟化氨，降低了在芯体元件加工过程中对人体健康及生态环境所造成的伤害，使得传感器芯体元件的制备更为安全。
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公开(公告)号：CN112798151A
公开(公告)日：2021-05-14
申请号：CN202110114546.X
申请日：2021-01-26
申请人： 松诺盟科技有限公司
IPC分类号： G01L1/04
摘要： 本发明涉及一种扭矩传感器力臂结构及扭矩传感器。扭矩传感器力臂结构包括外圈、连接件及至少两个力臂。外圈具有第一连接位。连接件位于外圈内，并与外圈同轴设置。连接件上具有第二连接位。每个力臂的两端分别与外圈的内壁及连接件固定连接。每个力臂上设置有用于检测对应力臂上的应变信息的应变栅。载荷输入点在第一连接位处或第二连接位处。载荷输入点在第一连接位处时，载荷由第一连接位向力臂设置有应变栅的部位传导的传导路径呈非直线形。载荷输入点在第二连接位处时，载荷由第二连接位向力臂设置有应变栅的部位传导的传导路径呈非直线形。扭矩传感器力臂结构的设置，使得扭矩传感器在具有较小体积的同时，还兼顾较高的测量灵敏度。
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