公开(公告)号：CN103941173B

公开(公告)日：2017-04-12

申请号：CN201310511487.5

申请日：2013-10-25

申请人： 格罗方德半导体公司

发明人： F·施赖特尔 ,  E·帕夫拉特

IPC分类号： G01N23/00

CPC分类号： G01R31/002 ,  G01R31/2881 ,  G01R31/31816 ,  G11C11/4125 ,  G11C29/50 ,  G11C29/50016 ,  G11C2029/5002

摘要： 本发明涉及用于测量半导体装置中阿尔法粒子所诱发软错误的方法及装置，该装置包括探针卡、阿尔法粒子源以及挡板。探针卡包括多个接触组件，而接触组件界定测量位置；阿尔法粒子源；以及挡板，配置在该阿尔法粒子源与该测量位置之间，而该挡板可在该开启位置与该关闭位置之间移动，其中，当该挡板处于该开启位置时，来自该阿尔粒子源的阿尔法粒子到达该测量位置，且当该挡板处于该关闭位置时，该阿尔粒子遭到阻挡而未到达该测量位置。

公开(公告)号：CN103941173A

公开(公告)日：2014-07-23

申请号：CN201310511487.5

申请日：2013-10-25

申请人： 格罗方德半导体公司

发明人： F·施赖特尔 ,  E·帕夫拉特

IPC分类号： G01R31/26

CPC分类号： G01R31/002 ,  G01R31/2881 ,  G01R31/31816 ,  G11C11/4125 ,  G11C29/50 ,  G11C29/50016 ,  G11C2029/5002

摘要： 本发明涉及用于测量半导体装置中阿尔法粒子所诱发软错误的方法及装置，该装置包括探针卡、阿尔法粒子源以及挡板。探针卡包括多个接触组件，而接触组件界定测量位置；阿尔法粒子源；以及挡板，配置在该阿尔法粒子源与该测量位置之间，而该挡板可在该开启位置与该关闭位置之间移动，其中，当该挡板处于该开启位置时，来自该阿尔粒子源的阿尔法粒子到达该测量位置，且当该挡板处于该关闭位置时，该阿尔粒子遭到阻挡而未到达该测量位置。