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公开(公告)号:CN104124189B
公开(公告)日:2017-09-12
申请号:CN201410178064.0
申请日:2014-04-29
申请人: 格罗方德半导体公司
IPC分类号: H01L21/67
CPC分类号: H01L21/67265 , G05B19/4184 , G05B19/41875 , G05B2219/37224 , G05B2219/45031 , H01L21/67259 , H01L21/67389 , H01L21/68 , H01L21/68707 , Y02P90/04 , Y10S901/02 , Y10S901/27
摘要: 本文揭示监控晶圆处理的系统及方法以及晶圆处理机。一种用于监控晶圆处理的系统包含传感器与控制器。该传感器能够固定于已组装的晶圆处理机。该控制器与该传感器电子通讯以及包含控制逻辑。该控制逻辑经组构成在该晶圆处理机对准时储存该传感器的参考输出,以及经组构成在该传感器的该参考输出与当前输出之间的差异超出临界值时产生指示讯号。
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公开(公告)号:CN104124189A
公开(公告)日:2014-10-29
申请号:CN201410178064.0
申请日:2014-04-29
申请人: 格罗方德半导体公司
IPC分类号: H01L21/67
CPC分类号: H01L21/67265 , G05B19/4184 , G05B19/41875 , G05B2219/37224 , G05B2219/45031 , H01L21/67259 , H01L21/67389 , H01L21/68 , H01L21/68707 , Y02P90/04 , Y10S901/02 , Y10S901/27
摘要: 本文揭示监控晶圆处理的系统及方法以及晶圆处理机。一种用于监控晶圆处理的系统包含传感器与控制器。该传感器能够固定于已组装的晶圆处理机。该控制器与该传感器电子通讯以及包含控制逻辑。该控制逻辑经组构成在该晶圆处理机对准时储存该传感器的参考输出,以及经组构成在该传感器的该参考输出与当前输出之间的差异超出临界值时产生指示讯号。
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