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发明公开
具有移动转盘的等离子体产生装置及其使用方法无效

公开(公告)号：CN103874315A

公开(公告)日：2014-06-18

申请号：CN201310757076.4

申请日：2013-11-28

申请人： 格里高利·迪拉吉

发明人： 格里高利·迪拉吉

IPC分类号： H05H1/46 , H05H1/24 , H01J37/32

CPC分类号： H01J37/32752 , H01J37/32082 , H01J37/32091 , H01J37/3244 , H01J37/32513 , H01J2237/33

摘要： 本发明一个可能的实施例是等离子体反应腔室和操作其的方法，其中所述等离子体反应腔室包括一组腔室壁和当关闭时气密密封所述等离子体反应腔室的门；一个或多个RF电极，至少一个RF电极为功率RF电极；以及移动一个或多个样品靠近所述一个或多个RF电极的结构。