公开(公告)号：CN120043439A

公开(公告)日：2025-05-27

申请号：CN202510241676.8

申请日：2025-03-03

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 张文涛 ,  谷兴泉 ,  杜浩 ,  熊显名 ,  李承航 ,  高慧莹 ,  高腾 ,  周开

IPC: G01B9/02055

Abstract: 本发明提供一种基于冗余特征的读数头组合非一致性校准的方法，所述方法包括：根据含有误差的光栅干涉测量模型中各个自由度表达式中安装误差的部分选择能够解耦各个影响系数的参考路径，根据参考路径选择合适的参考点，使用五种读数头组合计算参考点的六自由度，以读数头1234组合为参考得到读数头组合差值，采用分步补偿，循环迭代的方法，在各个自由度上依次拟合安装误差影响系数，将更新过后的影响系数带入光栅干涉测量六自由度模型，完成读数头非一致性误差的校准。本发明用于校准光栅干涉测量系统读数头非一致性误差。

公开(公告)号：CN118783923A

公开(公告)日：2024-10-15

申请号：CN202410931340.X

申请日：2024-07-12

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 张文涛 ,  凡可欣 ,  熊显名 ,  杜浩 ,  周开

IPC: H03H17/02

Abstract: 本发明公开了一种基于卡尔曼滤波器的误差校正方法。卡尔曼滤波是以信号的一、二阶统计特性已知为前提,以均方误差极小为判据,能自动跟踪信号统计性质的非平稳变化,具有递归性质的一种算法,因此得到了广泛应用。卡尔曼滤波器则是一种均方误差最小的估计器，它给出了线性动态系统模型的最优估计。本发明的卡尔曼滤波主要用于纠正周期误差。

公开(公告)号：CN120043440A

公开(公告)日：2025-05-27

申请号：CN202510241887.1

申请日：2025-03-03

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 张文涛 ,  谷兴泉 ,  杜浩 ,  熊显名 ,  李承航 ,  高慧莹 ,  高腾 ,  周开

IPC: G01B9/02055

Abstract: 本发明提供一种用于光栅干涉仪的安装误差校准的方法，所述方法为：选择能反映光栅与读数头相互之间影响的点作为参考点，使用光栅干涉仪对参考点进行测量得到条纹数，经过计算得到读数头位移，根据读数头位移设置点之间的函数关系进行最小二乘拟合，得到反映几何误差的参数；更新参数后重新计算工件台位置，完成对光栅干涉仪几何误差的校准。本发明可用于光栅干涉仪安装误差的校准、纳米级光栅干涉位移测量系统算法的优化。

公开(公告)号：CN119803274A

公开(公告)日：2025-04-11

申请号：CN202510034550.3

申请日：2025-01-09

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 杜浩 ,  李承航 ,  熊显名 ,  张文涛 ,  谷兴泉 ,  周开

IPC: G01B9/02056

Abstract: 本发明提供一种用于光栅读数头组合非一致性误差校准的方法，所述方法为：分别单独规划工作台移动路径，以读数头123组合为参考，分别计算其余读数头组合测量模型的六自由度；然后得到各读数头组合之间的偏差值；将影响偏差值的六自由度变量与读数头组合之间的偏差值进行数据拟合，得到更新后的读数头组合之间非一致性误差系数；利用补偿后的系数重新计算工作台的位置，完成对光栅读数头组合之间非一致性误差的校准。本发明可用于光栅读数头组合之间非一致性误差的理论分析、纳米级光栅尺位移测量系统的算法优化。