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公开(公告)号:CN114502950B
公开(公告)日:2025-04-08
申请号:CN202080067322.1
申请日:2020-03-11
Applicant: 欧姆龙株式会社
Inventor: 川岛优人
IPC: G01N21/892 , G01B11/30
Abstract: 本发明提供一种能够实现省空间化、部件成本的削减以及维护工时的削减的片材检查装置。将用于检查片材的正面的瑕疵的第一光源部(Ls1)及第一检查部(S1)和用于检查片材的背面的瑕疵的第二光源部(Ls2)及第二检查部(S2)配置成如下位置关系:在片材上存在孔的情况下,第一检查部(S1)能够检测由第二光源部照射并透过了片材的孔的光。
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公开(公告)号:CN114502950A
公开(公告)日:2022-05-13
申请号:CN202080067322.1
申请日:2020-03-11
Applicant: 欧姆龙株式会社
Inventor: 川岛优人
IPC: G01N21/892 , G01B11/30
Abstract: 本发明提供一种能够实现省空间化、部件成本的削减以及维护工时的削减的片材检查装置。将用于检查片材的正面的瑕疵的第一光源部(Ls1)及第一检查部(S1)和用于检查片材的背面的瑕疵的第二光源部(Ls2)及第二检查部(S2)配置成如下位置关系:在片材上存在孔的情况下,第一检查部(S1)能够检测由第二光源部照射并透过了片材的孔的光。
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公开(公告)号:CN105783784B
公开(公告)日:2019-12-13
申请号:CN201510648233.7
申请日:2015-10-09
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明涉及检查装置及检查装置的控制方法,提供在使用在物体上投影有图案图像的状态下拍摄的图像对该物体进行检查的检查装置中用于抑制二次反射噪音而使可靠性高的测量及检查成为可能的技术。在因其他的物体的反射面反射的光会导致发生二次反射的二次反射物体存在的情况下,控制装置进行如下控制:(1)变更从投影装置投影的图案图像的投影范围以使光不会到达所述反射面,或者(2)设定图案图像的投影位置以使所述反射面脱离从投影装置投影的图案图像的投影范围。
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公开(公告)号:CN105783784A
公开(公告)日:2016-07-20
申请号:CN201510648233.7
申请日:2015-10-09
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明涉及检查装置及检查装置的控制方法,提供在使用在物体上投影有图案图像的状态下拍摄的图像对该物体进行检查的检查装置中用于抑制二次反射噪音而使可靠性高的测量及检查成为可能的技术。在因其他的物体的反射面反射的光会导致发生二次反射的二次反射物体存在的情况下,控制装置进行如下控制:(1)变更从投影装置投影的图案图像的投影范围以使光不会到达所述反射面,或者(2)设定图案图像的投影位置以使所述反射面脱离从投影装置投影的图案图像的投影范围。
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