公开(公告)号：CN1746667A

公开(公告)日：2006-03-15

申请号：CN200510099500.6

申请日：2005-09-06

Applicant: 欧姆龙株式会社

Inventor： 村上清 ,  浅野靖典 ,  木下崇 ,  四谷辉久

IPC: G01N21/956 ,  G06K9/03

Abstract: 本发明提供一种基板检查方法以及基板检查装置，以高精度进行对被检查部位的检查区域的设定，提高检查的精度。针对检查对象的基板，预先作成全体图像(103)，预先使检查区域(31)与该全体图像(103)上的被检查部位建立对应。检查时，将照相机(3A)定位于与拍摄对象区域(30)对应的位置上而进行拍摄，获取处理对象图像(40)时，在全体图像(103)上提取与该处理对象图像(40)对应的区域(41)，计算出相对于该区域(41)的拍摄对象区域(30)的偏差量(Δx、Δy)。另外，使用偏差量(Δx、Δy)修正检查区域(31)的设定位置，根据该修正后的坐标，在处理对象图像(40)上设定检查区域。

公开(公告)号：CN100533132C

公开(公告)日：2009-08-26

申请号：CN200510099500.6

申请日：2005-09-06

Applicant: 欧姆龙株式会社

Inventor： 村上清 ,  浅野靖典 ,  木下崇 ,  四谷辉久

IPC: G01N21/956 ,  G06K9/03

Abstract: 本发明提供一种基板检查方法以及基板检查装置，以高精度进行对被检查部位的检查区域的设定，提高检查的精度。针对检查对象的基板，预先作成全体图像(103)，预先使检查区域(31)与该全体图像(103)上的被检查部位建立对应。检查时，将照相机(3A)定位于与拍摄对象区域(30)对应的位置上而进行拍摄，获取处理对象图像(40)时，在全体图像(103)上提取与该处理对象图像(40)对应的区域(41)，计算出相对于该区域(41)的拍摄对象区域(30)的偏差量(Δx、Δy)。另外，使用偏差量(Δx、Δy)修正检查区域(31)的设定位置，根据该修正后的坐标，在处理对象图像(40)上设定检查区域。